PECVD solar grafittbåt

SemicorexPECVD solgrafittbåterer presisjon laget av høy renhetisostatisk grafitt. Hver PECVD solgrafittbåt fra Semicorex gjennomgår presis maskinering, dimensjonal inspeksjon og elektrisk ytelsestesting for å sikre stabil ytelse i høytemperaturplasmamiljøer.

Under PECVD-behandling bærer PECVD solgrafittbåten silisiumskiver inn i PECVD-reaksjonskammeret og fungerer som elektroden koblet til RF-strømforsyningen. Når en vekselspenning påføres mellom tilstøtende båtplater, etableres et elektrisk felt. Under påvirkning av det elektriske feltet gjennomgår de reaktive gassene (som silan SiH4 og ammoniakk NH3) glødeutladning og genererer plasma. Ioner og frie radikaler i plasma bryter ned forløpergassene, og danner silisium (Si) og nitrogen (N) ioner. Disse ionene kombineres for å danne silisiumnitrid (Si₃N₄) molekyler, som deretter avsettes på overflaten av silisiumplaten for å danne tynne filmer.

1. Eksepsjonell termisk stabilitet

Med en termisk ekspansjonskoeffisient nær den for silisiumskiver, SemicorxPECVD solgrafittbåtopplever ubetydelig dimensjonsendring ved oppvarming, noe som på en pålitelig måte unngår termisk stress-indusert skade på skivene.

2. Overlegen elektrisk og termisk ledningsevne

Semicorex PECVD solgrafittbåter har utmerket elektrisk ledningsevne, noe som sikrer rask ledning av RF-strøm og jevn elektrisk feltfordeling, noe som er fordelaktig for stabil plasmagenerering og jevn silisiumplateavsetning. I tillegg letter dens overlegne varmeledningsevne rask kjøling og oppvarming, og forbedrer produksjonseffektiviteten samtidig som lokal overoppheting forhindres i å påvirke avsetningskvaliteten.

3. Sterk kjemisk stabilitet

Takket være bruken av førsteklasses materiale er Semicorex PECVD solgrafittbåt mindre utsatt for reaksjon med de reaktive gassene og plasma. Denne egenskapen forhindrer betydelig ujevn elektrisk feltfordeling forårsaket av korrosjon, deformasjon eller urenheter i grafittbåten, og sikrer dermed stabiliteten til avsetningsprosessen og overflatekvaliteten til silisiumskiver.

4. Enestående mekanisk styrke

Med sin enestående mekaniske styrke kan Semicorex PECVD solgrafittbåt lett håndtere vekten av høyvolums wafer-laster. De tåler den mekaniske påkjenningen som genereres under lasting og transport i lang tid uten å lett deformeres eller brekke.

5. Utmerket dimensjonskonsistens

Semicorex PECVD solgrafittbåt oppnår eksepsjonell dimensjonsnøyaktighet på tvers av alle komponenter gjennom presisjonsbearbeiding. Den holder silisiumplaten i en fast posisjon under deponering, noe som sikrer jevn avsetning og kompatibilitet med automatisert produksjon.