PFA Wafer -transportører

Semicorex PFAWafer -transportørerer transportører med høy ytelse designet for sikker håndtering, lagring og transport av halvlederskiver i et ultra-rent miljø. Produksjon av avanserte halvledere sikrer at PFA -skivebærere tilbyr uovertruffen kjemisk motstand, termisk stabilitet og partikkelkontroll fra integriteten og rensligheten til skivene under fremstilling til endelig testing.

Disse skivebærerne er laget av nye PFA, og viser stor motstand mot harde kjemikalier som sterke syrer, baser og løsningsmidler som vanligvis brukes i rengjøring og etsing av skiver. PFAs veldig lave ionutvaskings- og outgassing -egenskaper gjør det til det foretrukne materialet for viktige reneomoppgaver, der selv små mengder forurensninger kan påvirke enhetens utbytte.

PFA Wafer -transportører er laget i rene rom og jobber med klasse 1 (ISO klasse 3) Standarder for rene rom. Den glatte, ikke-pinne overflaten av PFA minimerer partikkelgenerering og vedheft, og forhindrer forurensning fra rester eller partikler. I tillegg letter PFAs hydrofobe natur grundig skylling og rask tørking, noe som reduserer risikoen for kryssforurensning under våt prosesseringstrinn.

Hver PFA -wafer -transportør er nøyaktig laget for å sikre at trygg og til og med støtte av skiver under bevegelse og oppbevaring. Rillede spor hjelper skiver med liten kontakt, reduserer stress og flis på kantene på skivene. Bærere kommer i mange former for å passe til forskjellige størrelser av skiver som inkluderer 100 mm, 150 mm, 200 mm og 300 mm diametre. Valgfrie topper og trange låsemåter gir ekstra sikkerhet mot sjokk for varene, vibrasjonen og eksponeringen for miljøet.

På grunn av PFAs utmerkede termiske motstand opp til 260 ° C, er den kompatibel med høye temperaturprosesser som diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning CVD. Bæreren beholder sin strukturelle integritet under gjentatt termisk sykling og er derfor egnet for både batch- og automatiserte prosesseringsmiljøer.

PFA-wafer-transportører har brede applikasjoner i rengjøring av wafer, våt etsing, fotolitografi CMP og andre front-end og back-end prosesser i IC-fabrikasjon. Deres robuste design og renhet gjør dem ideelle for bruk i Fabs, FoU -laboratorier og OEM -utstyr som krever strenge forurensningskontrollprotokoller.

TilpassetPFA Wafer -transportørerKan utvikles for å oppfylle spesifikke automatiseringskrav, inkludert robothåndtering, sporsystemer og vertikal/horisontal transport. Bærere er fullt kompatible med standardhåndteringsutstyr for wafer og produksjonsverktøy for halvleder.