Produkter

Semicorex CVD SiC-belagte waferbåter er keramiske bæreverktøy med høy presisjon laget av silisiumkarbid med ultrahøy renhet, med høy pålitelighet, utmerket renslighet og forlenget levetid. Semicorex CVD SiC-belagte wafer-båter fungerer som den ideelle løsningen for termisk prosessering av wafere, og kan oppnå sikker og stabil plassering av wafere under overførings- og prosesseringsstadier.

Semicorex CVD SiC Fin er en tykk, solid silisiumkarbidkomponent med høy tetthet produsert av Chemical Vapor Deposition, designet for plasma-vendte og ultra-høytemperatur-halvlederapplikasjoner som krever eksepsjonell renhet, holdbarhet og korrosjonsbestandighet. Semicorex leverer avanserte CVD-silisiumkarbidkomponenter til produsenter av halvlederutstyr over hele verden, og tilbyr tilpassede løsninger, presisjonsteknikk og pålitelig global levering for de mest krevende prosessmiljøene.*

Laget av høyytelses CVD SiC-materialer, Semicorex CVD SiC-fokusring for 2L10-506419-21 er den avgjørende ringdelen som er laget spesielt for TEL VIGUS RK4-utstyr som brukes i presisjons-halvlederetseprosesser. Å velge Semicorex betyr at du får de ideelle CVD SiC-løsningene for å oppnå presise og ensartede etseresultater.

Semicorex CVD SiC-belagte øvre jordringer er de essensielle ringformede komponentene som er konstruert spesielt for det sofistikerte plasmaetseutstyret. Som den bransjeledende leverandøren av halvlederkomponenter, fokuserer Semicorex på å levere høykvalitets, langvarige og ultrarene CVD SiC-belagte øvre jordringer for å hjelpe våre verdsatte kunder med å forbedre driftseffektiviteten og den generelle produktkvaliteten.

Semicorex solide CVD SiC-ringer er høyytende ringformede komponenter som hovedsakelig brukes i reaksjonskamrene til plasmaetseutstyr i den avanserte halvlederindustrien. Semicorex solide CVD SiC-ringer gjennomgår streng materialvalg og kvalitetskontroll, og tilbyr uovertruffen materialrenhet, eksepsjonell plasmakorrosjonsmotstand og konsistent driftsytelse.

Semicorex CVD SiC-belagte ovnsrør er de avanserte rørformede komponentene som er spesielt produsert for høytemperatur-halvlederbehandling, som oksidasjon, diffusjon og utglødning av halvlederskiver. Ved å utnytte avanserte prosesseringsteknologier og moden produksjonserfaring er Semicorex forpliktet til å levere presisjonsmaskinerte CVD SiC-belagte ovnsrør med markedsledende kvalitet til våre verdsatte kunder.