Semicorex holdbare fokusringer for halvlederbehandling er designet for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsingskamre som brukes i halvlederbehandling. Fokusringene våre er laget av grafitt med høy renhet belagt med et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). SiC-belegget har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper, samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre levetiden til fokusringene våre.
Les merSend forespørsel