> Produkter > Keramikk > Silisiumkarbid (SiC) > Holdbare fokusringer for halvlederbehandling

Produkter

Nye Produkter

Holdbare fokusringer for halvlederbehandling

Semicorex holdbare fokusringer for halvlederbehandling er designet for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsingskamre som brukes i halvlederbehandling. Fokusringene våre er laget av grafitt med høy renhet belagt med et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). SiC-belegget har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper, samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre levetiden til fokusringene våre.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Våre holdbare fokusringer for halvlederbehandling er utformet for å forbedre etsningens jevnhet rundt waferkanten eller omkretsen, og minimerer kontaminering og uplanlagt vedlikehold. De er svært stabile for rask termisk utglødning (RTA), rask termisk prosessering (RTP) og hard kjemisk rengjøring.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektive holdbare fokusringer for halvlederbehandling, vi prioriterer kundetilfredshet og leverer kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.

Kontakt oss i dag for å lære mer om våre holdbare fokusringer for halvlederbehandling.

Parametre for holdbare fokusringer for halvlederbehandling

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300