MOCVD Vakuumkammerlokk

MOCVD Vakuumkammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex silisiumkarbidbelagt MOCVD-vakuumkammerlokk konstruert spesifikt tåler disse utfordrende miljøene. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex Graphite-komponenter er høyrent SiC-belagt grafitt, som brukes i prosessen for å dyrke enkeltkrystall- og waferprosessen. MOCVD-vakuumkammerlokksammensetningen har høy varme- og korrosjonsbestandighet, er holdbare for å oppleve en kombinasjon av flyktige forløpergasser, plasma og høy temperatur.

Hos Semicorex er vi forpliktet til å tilby produkter og tjenester av høy kvalitet til våre kunder. Vi bruker kun de beste materialene, og produktene våre er designet for å møte de høyeste standardene for kvalitet og ytelse. Vår MOCVD vakuumkammerlokk er intet unntak. Kontakt oss i dag for å lære mer om hvordan vi kan hjelpe deg med dine behov for behandling av halvlederwafer.

Parametre for MOCVD Vakuumkammerlokk

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC Î² fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Korn størrelse	Î¼m	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300