Keramisk slutteffektor

Semicorex er partneren din for avanserte grafittkomponenter og sammenstillinger for å støtte høyere gjennomstrømning og bedre utbytte i halvlederprosesseringsutstyret ditt. Materialekspertene våre er klare til å samarbeide med deg for å utvikle den optimale, riktige løsningen for dine waferhåndtering, oppvarming og prosesseringskrav. Vår keramiske endeeffektor har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Ceramic End Effector er robotens hånd som flytter halvlederwafere mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere. Endeeffektoren må være dimensjonalt presis og termisk stabil, samtidig som den har en jevn, slitebestandig overflate for å trygt håndtere wafere uten å skade enheter eller produsere partikkelforurensning. Vår keramiske endeeffektor av silisiumkarbid med høy renhet gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv Ceramic End Effector, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for Ceramic End Effector

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300