Hjem > Produkter > Halvlederkomponenter > Slutteffektor > Keramisk slutteffektor
Keramisk slutteffektor

Keramisk slutteffektor

Semicorex er partneren din for avanserte grafittkomponenter og sammenstillinger for å støtte høyere gjennomstrømning og bedre utbytte i halvlederprosesseringsutstyret ditt. Materialekspertene våre er klare til å samarbeide med deg for å utvikle den optimale, riktige løsningen for dine waferhåndtering, oppvarming og prosesseringskrav. Vår keramiske endeeffektor har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Ceramic End Effector er robotens hånd som flytter halvlederskiver mellom posisjoner i waferbehandlingsutstyr og bærere. Endeeffektoren må være dimensjonalt presis og termisk stabil, samtidig som den har en jevn, slitebestandig overflate for å trygt håndtere wafere uten å skade enheter eller produsere partikkelforurensning. Vår keramiske endeeffektor av silisiumkarbid med høy renhet gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand, og holdbar kjemisk motstand.

Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv Ceramic End Effector, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.


Parametre for keramisk slutteffektor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg

SiC-CVD-egenskaper

Krystallstruktur

FCC β fase

Tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Korn størrelse

μm

2~10

Kjemisk renhet

%

99.99995

Varmekapasitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bend, 1300â)

430

Termisk ekspansjon (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Funksjoner av keramisk slutteffektor med høy renhet

â SiC-belagt grafitt med høy renhet

â Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet

â Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate

â Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring

â Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.




Hot Tags: Keramisk slutteffektor, Kina, produsenter, leverandører, fabrikk, tilpasset, bulk, avansert, holdbar

Relatert kategori

Send forespørsel

Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.