Wafer prosessvarmer

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av silisiumkarbidbelagt grafittsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Vår Wafer Process Heater har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex Wafer Process Heater er laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, belegget påføres ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at den kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200°C i vakuum.
De spesielle egenskapene og den lave massen til Wafer Process Heater-materialet tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll. Sammenlignet med andre materialer forblir overflaten til silisiumkarbid flat på grunn av dens lave termiske ekspansjon selv når den brukes med raske temperaturendringer. Varmeplatene egner seg godt for krevende prosesser i halvlederprosesseringssystemer.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektive produkter til våre kunder. Vår Wafer Process Heater har en prisfordel og eksporteres til mange europeiske og amerikanske markeder. Vi tar sikte på å være din langsiktige partner, og levere konsekvente kvalitetsprodukter og eksepsjonell kundeservice.

Parametre for Wafer Process Heater

Teknisk spesifikasjon	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askeinnhold (PPM)	≤500
Shore hardhet	≥45
Spesifikk motstand (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Kompressiv styrke (Mpa)	≥70
Maks. Kornstørrelse (μm)	≤43
Koeffisient for termisk ekspansjon Mm/°C	≤4,4*10-6

Funksjoner av Wafer Process Heater

- CVD SiC-belegg for å forbedre levetiden.
- Høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, lang levetid, kan forbedre waferkvalitet og utbytte.
- Den har ekstremt lav termisk ekspansjonskoeffisient, høy temperaturbestandighet, høy slitestyrke, god isolasjon, god kjemisk stabilitet og nesten lilla (rødt) synlig lysgjennomtrengning.

Vi kan tilby antioksidasjons- og grafittdigel med lang levetid, grafittform og alle deler av grafittvarmeren.