Kvartsovnsrør

Semicorex kvartsovnsrør, waferbåter, kvartsdigler for silisium enkrystallvekst er alle laget av høy renhetkvartsmaterialel. Kvarts er mye brukt i halvlederindustrien, høyrent kvarts er det viktige forbruksmaterialet i waferfabrikasjon. Hovedmålmarkedet for kvartsdeler i halvlederfeltet er diffusjons- og etseprosessen i waferfabrikasjon, kan deles inn i to hovedkategorier: høytemperaturdeler og lavtemperaturdeler.

1. Høy temperatur deler er kvarts ovn rør, wafer båt, båt holder, og etc. De trenger direkte eller indirekte kontakt med Silisium wafer i høy temperatur miljø, er hovedsakelig laget av smeltet kvarts glass materiale, produsert gjennom termisk prosessering.

2.Lavtemperaturdeler er kvartsringer i etseprosessen, og inkludert kassetter, rensetanker i renseprosessen. De brukes hovedsakelig i lavtemperaturmiljøer, som hovedsakelig er laget av smeltet kvartsglass, produsert gjennom kald prosessering.

Komponenter i høytemperatursonen forbrukes raskere, men de brukes vanligvis i multi-wafer-systemer (en bærer som holder flere silisiumwafere), mens komponenter i lavtemperatursonen forbrukes langsommere, men de brukes i enkeltwafer-systemer (en bærer som holder en silisiumwafer); derfor er den totale markedsstørrelsen for begge relativt lik.

Ovnen er området der wafere gjennomgår en høytemperaturoppvarmingsprosess, består av kvartsovnsrør, reaktor og flere varmeovner, den er mye brukt i diffusjon, oksidasjon, RTP-prosesser i halvlederbehandling. Ovnen er hovedsakelig delt inn i horisontale og vertikale typer:. I en horisontal ovn plasseres wafere på en kvartsbåt, som igjen plasseres på en SiC-bærer. Det er også adaptive bafler foran og bak. Bæreren skyves inn i kvartsovnsrøret, og skivene gjennomgår reaksjonen i en sone med konstant temperatur. I en vertikal ovn blir wafere plassert på et kvartstårn og deretter sakte hevet inn i kvartsovnsrøret for prosessering.

På grunn av de høye temperaturene som er involvert i de ovennevnte prosessene, for å forhindre alvorlig deformasjon og kollaps av kvartsovnsrøret etter gjentatt og langvarig bruk, bør et kvartsovnsrør som er motstandsdyktig mot deformasjon og kollaps og har lang levetid brukes under produksjonen.

Her er fordelene vedkvartsovnsrør:

1. Høy temperatur motstand. Kvartsglass har et mykningspunkt på omtrent 1730 ℃ og kan brukes i lengre perioder ved 1150 ℃, med en kortvarig maksimal temperatur som når 1450 ℃.

2. Korrosjonsbestandighet. Bortsett fra flussyre, reagerer høyrent kvarts knapt kjemisk med andre sure stoffer. Ved høye temperaturer tåler den korrosjon fra svovelsyre, salpetersyre, saltsyre, vannvann, nøytrale salter, karbon og svovel. Syrebestandigheten er 30 ganger høyere enn for keramikk og 150 ganger høyere enn for rustfritt stål.  Dens kjemiske stabilitet, spesielt ved høye temperaturer, er uovertruffen av noe annet ingeniørmateriale.

3. God termisk stabilitet. Kvarts med høy renhet har en ekstremt lav termisk utvidelseskoeffisient og tåler drastiske temperaturendringer.  Oppvarming av høyrent kvarts til rundt 1100 ℃ og deretter senke den i romtemperaturvann vil ikke få den til å knuses.

4. God lysoverføringsytelse. Kvarts med høy renhet har god lysoverføringsytelse over hele spekteret fra ultrafiolett til infrarødt. Transmittansen for synlig lys er over 93 %, og i det ultrafiolette spekteret kan maksimal transmittans nå over 80 %.

5. God elektrisk isolasjonsytelse. Resistiviteten til høyrent kvarts er ti tusen ganger høyere enn vanlig kvartsglass, noe som gjør det til et utmerket elektrisk isolasjonsmateriale, som har gode elektriske egenskaper selv ved høye temperaturer.