Halvleder-kvalitet kvarts diffusjonsrør

Semicorex kvartsdiffusjonsrør av halvlederkvalitet er de essensielle kvartskomponentene som har som mål å gi et rent og stabilt reaksjonsrom for produksjon av halvlederwafer. Med sine omfattende og utprøvde produksjonsevner kan Semicorex gi våre verdsatte kunder svært kompatible, spesialdesignede kvartsdiffusjonsrør av halvlederkvalitet.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Kvartsbåterbrukes vanligvis i driftsforhold med høy temperatur, tøffe kjemiske korrosjon. Under operasjonen plasseres halvlederskiver i kvartsbåten og settes inn i kvartsdiffusjonsrøret. Når diffusjonsrøret når den nødvendige temperaturen (flere hundre til flere tusen grader Celsius), introduseres prosessgasser (f.eks. O₂, N₂, H₂, Ar) og dopinggasser (f.eks. POCl₃, BBr₃) inn i kvartsdiffusjonsrøret gjennom gass-porter for å utføre diffusjons- og oksidasjons-semi-duksjonskanalene. I tillegg, for å forbedre diffusjonens jevnhet og nøyaktighet, må noen diffusjonsprosesser utføres i et lavtrykksmiljø.

I avanserte produksjonsprosesser for halvledere kan enhver liten feil eller mangel i disse prosessene føre til feil i påfølgende prosesser. Derfor, som avgjørende deler av halvlederproduksjon, er kvaliteten på kvartsdiffusjonsrør betydelig viktig og påvirker direkte utbyttet og ytelsen til halvlederenheter.

Spesifikasjonene til Semicorex Kvarts av halvlederkvalitet

Semicorex halvleder-kvalitet kvarts diffusjonsrør er omhyggelig produsert av høy kvalitetkvarts av halvlederkvalitetmateriale. Følgende er dens spesifikke parametere:

Parametrene kan tilpasses etter kundens krav.

Ytelsen til Semicorex Semiconductor-Grade Quartz Diffusion Tubes

Stoler på vår erfarne prosesseringsteknologi og pålitelige materialvalg, Semicorex halvlederkvalitetkvarts diffusjonsrørdemonstrere overlegen ytelse under de utfordrende driftsforholdene:

1. Høy temperatur motstand ytelse

Semicorex halvlederkvalitets kvartsdiffusjonsrør leverer bemerkelsesverdig høytemperaturmotstand, som gjør dem i stand til å fungere stabilt i høytemperaturmiljøer opp til 1200 ℃ uten noen form for deformasjon eller skade.

2. Termisk stabilitetsytelse

Med eksepsjonell termisk ekspansjonskoeffisient er Semicorex halvlederkvalitets kvartsdiffusjonsrør i stand til å motstå termisk stress under rask oppvarming eller avkjøling uten lett å sprekke eller deformere.

3. Kjemisk motstandsytelse

Semicorex halvlederkvalitets kvartsdiffusjonsrør leverer overlegen kjemisk treghet i høytemperatur, tøffe korrosive miljøer. Denne ytelsen forhindrer i stor grad at forurensningene som genereres fra deres reaksjon med prosessgasser, påvirker waferkvaliteten.