Halvlederkvarts digler

Semikorex halvlederkvarts digler er forbruksprodukter i halvlederindustrien spesielt for kvartsets krusning som brukes i krystalltrekkingsprosessen med silisiumkrystallproduksjon. De er produsert av ultra-pure smeltet kvarts som tilfredsstiller renslighet, homogenitet og varmebestandighet og er produsert for å imøtekomme de høye kravene til moderne halvlederproduksjon. De er avgjørende for silisiumsugotspesifikasjonen fordi attributtene deres direkte påvirker ytelsen og utbyttet i integrert kretsbehandling.

Fra et termisk og fysisk synspunkt: Kvarts digler tåler varmen veldig godt. Deformasjonspunktet er omtrent 1100 ° C, mykgjøringspunktet er omtrent 1730 ° C, og den maksimale kontinuerlige servicetemperaturen er 1100 ° C, [kortsiktig eksponering opp til 1450 ° C]. Disse egenskapene tillater brukbarhet ved høye temperaturer mens de gir høy renhet og termisk motstandskraft, og fremmer derfor stabilitet under czochRalski (CZ) krystalltrekkingsprosesser, der forurensning og deformasjon må minimeres, og nøyaktige termiske profiler er paramount for å oppnå homogen krystallvekst.

Fra et strukturelt perspektiv består halvlederkvarts digler av en lagdelt komposittstruktur designet for termiske egenskaper og mekanisk styrke. Start (bevegende innover) lag er et gjennomsiktig kvartslag som generelt er en tredjedel av veggtykkelsen (ca. 3–5 mm), og har et relativt lavt bobleinnhold (avhengig av prosesseringsteknikk) og derfor en jevn defektfri overflate vil være i kontakt med den smeltede silikonkvartsoverflaten (dette bidrar til å være i kontakt med den smeltede silikonkvartsoverflaten.

Utsiden er lagdelt med et større nivå av bobler som bidrar til digelenes deformasjonsstyrke, høyere termisk stressmotstand og termisk isolasjon fra varmekilden for strålingseniformitet. Lagene til digelen lar den opprettholde form og integritet, til tross for grad av differensielle termiske gradienter som finnes i krystalltrekkingsprosessen.

Moderne kvartsvern har utviklet seg videre enn den tradisjonelle to-lags strukturen på grunn av fremskritt innen produksjonsteknologi. Mange digler bruker et trelags struktur-et gjennomsiktig indre lag, gjennomsiktige midtlag som har bobler spredt gjennom kvarts, og et ytre tynt lag med sprudlende kvarts. Tre-lags strukturer tilbyr bedre mekanisk styrke, termisk styring og kostnadsfordeler og forbedrer varmeoverføringsegenskaper. Noen digler bruker også belegg av alkali metallioner (f.eks. Bariumionløsninger) på den innerste overflaten, eller bruker syntetisk kvarts med høy renhet i spesifikke lag, for å redusere oksygeninnhold, tømme renhet og forbedre den generelle kvaliteten på de trukket enkeltkrystaller.

Produksjonskvartsvern for halvledere er ment å bli holdt til strenge kvalitetskontrolltoleranser ved purlighetene som trengs, som vanligvis er flere deler per milliard metalliske urenheter. Råvarene er nøye valgt og renset for å fjerne eventuelle forurensninger. De dannes til grove dimensjoner, med riktig termisk behandling påført, og overflaten er ferdige for å adressere dimensjons nøyaktighet, mekanisk styrke og renslighet. Prosessen er rettet mot å sikre at diglene vil forbli pålitelige mens de blir utsatt for langvarig eksponering for høy temperatur i tøffe kjemiske miljøer.

Ytelsen til kvarts digel i halvlederproduksjon påvirker ensartetheten av silisiumkrystallgitteret, defekttettheten og oksygenet i ingot. Høye renheter og defektfrie kvarts digler, vil begrense dislokasjonen av krystalldefekter, forbedre avkastningshastigheten og etablere evnen til å generere skiver for å fremme enhetsgeometrier. Hvis du er en produsent av HGH-ytelses-IC-er, solisa-silisium eller kraftelektronikk, er det et avgjørende element for å etablere og optimalisere kostnadsutstyr.

SemikorexHalvlederkvartsNavle er et essensielt hjelpemateriale for ethvert silisiumkrystalltrekkingssystem. De unike egenskapene til renhet, høy temperaturstabilitet og proprietære flerlagsstrukturer gjør dette til et passende materiale for å støtte strenghetene i CZ-trekkprosessen, samtidig som det gir jevn og reproduserbar ytelse. Etter hvert som halvlederproduksjonen beveger seg mot høyere integrasjon og strammere toleranser, vil de betydelige verdiøkende fordelene med presisjonstekniske kvarts krusningskarme gi større betydning for å muliggjøre og utvikle neste generasjons elektroniske teknologier.