Semicorex alumina keramiske robotarmer, også kalt alumina keramiske endeeffektorer, er de avgjørende keramiske delene som hovedsakelig brukes i front-end-fremstilling av halvledere for håndtering, transport og plassering av wafere. Semicorex alumina keramiske robotarmer som har både pålitelig ytelse og konkurransedyktige kostnader kan sikre høy presisjon, kontamineringsfri og skadefri waferoverføring.
Med høy renslighet, utmerket parallellitet, presise dimensjoner, stabil pålitelighet og effektiv drift, er keramiske robotarmer de uunnværlige komponentene som brukes mye i avansert halvlederproduksjon. Med den kontinuerlige utviklingen av industriell automatisering, fortsetter markedets etterspørsel etter keramiske robotarmer å vokse jevnt og trutt.
Avanserte industrier, inkludert wafer-produksjon, solcellefeltet og presisjonselektronikk, stiller strenge driftskrav til utstyrskomponenter. Semicorexalumina keramikkrobotarmer kan fullt ut tilfredsstille disse strenge kravene til halvlederproduksjon under vakuum og høye temperaturforhold takket være deres overlegne materialytelse vist nedenfor.
1. Høy mekanisk styrke og hardhet
2. Høyt smeltepunkt og pålitelig termisk stabilitet
3. Eksepsjonell kjemisk korrosjon
4. Utmerket elektrisk isolasjonsytelse
| Egenskaper |
Tetthet |
Bøyestyrke (20 ℃) |
Trykkstyrke (20 ℃) |
Hardhet (Knoop 1000gm) |
Strekkstyrke (25 ℃) |
Koeffisient for termisk ekspansjon (25-1000 ℃) |
Maksimal brukstemperatur |
||||||||||
| Enhet | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% A1203 |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Dataene ovenfor er kun for referanse
1. Håndtering med høy nøyaktighet
Semicorexalumina keramiske robotarmerer ideelle for stabil håndtering av wafer og høypresisjons wafergriping og overføring i forurensningssensitive wafer-produksjonsverksteder i halvleder- og fotovoltaiske felt, og sikrer pålitelig wafer-renslighet og chipkapasitet.
2. Kjemisk behandling
Semicorex alumina keramiske robotarmer er i stand til å tåle korrosjon av sterke syrer og alkalier og er godt egnet for drift under aggressive kjemiske forhold, for eksempel i kjemisk industri og nye energibatteriproduksjonsfelt.
3.HøytemperaturproduksjonSemicorex alumina keramiske robotarmer kan brukes mye innen glassproduksjon, støping og metallurgi fordi de kan oppfylle kravene til å opprettholde pålitelig styrke og stabilitet under utfordrende høytemperaturmiljøer.