Sic Inlet Rings

Semikorex SIC innløpsringer er viktige komponenter i halvlederbehandlingssystemer, spesielt i epitaksiale reaktorer og avsetningsutstyr der gassenhet og prosessstabilitet påvirker skivebehandling, sammen med kvalitet og enhetsytelse. SIC -innløpsringer er designet for å kontrollere innløpet til prosessgasser, stabilisere innløpsbetingelser nøyaktige mens de gir jevn gasstrøm over skurkene med hensyn til temperatur og kjemisk reaktivitet under prosessering, spesielt ved forhøyede temperaturer. SIC innløpsringer er manfaktet fra ekstremt høy renhet silisiumkarbid (sic), slik at de kan være spenstige mot termisk sjokk, motstand mot korrosjon og liten eller ingen partikkelgenerering - en essensiell komponent i avansert halvlederfabrikasjon.

Den viktigste fordelen med silisiumkarbid som materiale er evnen til å oppleve ekstreme termiske forhold. Når det gjelder epitaksial vekst og andre halvlederprosesser, har reaktorene vedvarende høye temperaturnivåer som kan overstige tradisjonelle materialer. Sic innløpsringer er i stand til å tolerere termisk etter slike vedvarende temperaturer, uten deformasjon og spesielt ingen varpage. De er i stand til å holde dimensjonaliteten stabil for å unngå forstyrrelse av strømningens ensartethet. Videre gir temperaturmotstanden til SIC -innløpsringer ensartede forhold i prosessene over lange driftssykluser. Denne faktoren er verdifull for produksjon med høyt volum samt enhetsproduksjon.

Kjemisk motstand, i tillegg til termisk stabilitet, er en annen viktig kvalitet påSicInnløpsringer. Halvlederprosesser kan involvere reaktive gasser som silan, hydrogen og ammoniakk eller involvere bruk av noen klorbaserte kjemikalier. Materialer som korroderer eller ødelegger når de blir utsatt for reaktive gasser kan forårsake forurensning av skiver ved første eksponering og til slutt fører til et effektivitetstap av en prosess. SIC gir høy motstand mot kjemisk angrep, og opprettholder en inert overflate som bevarer radikal renslighet, forhindrer forurensning av partikeltypen, og forlenger levetiden til innløpsringen, samtidig som de opprettholder skivenes integritet, noe som fører til høyere utbytte og senkede defekter.

Maskineringspresisjon er en annen viktig vurdering i utførelsen av en innløpsring. Ringen geometri er kritisk for å kontrollere strømningsegenskapene til prosessgassene. Like uoverensstemmelser fører til ujevn fordeling av gasser og fører til ikke-ensartet filmvekst eller dopingegenskaper på tvers av skiver.Sic Inlet Ringsproduseres ved hjelp av presisjonsteknikker, oppnår nære toleranser, god flathet og utmerkede overflatebehandlinger. Presisjonsaspektet ved innløpsringene sikrer repeterbar, ensartet levering av gasser til prosesskammeret, som direkte påvirker prosesskontroll av skiver.

Tilpasning er en annen betydelig fordel med SIC -innløpsringer. På grunn av de forskjellige designene av halvlederutstyr og prosesser, krever hver applikasjon en annen komponent for å imøtekommes riktig. SIC -innløpsringer kan produseres i en rekke størrelser, former og typer, og dermed imøtekomme behovene til forskjellige reaktormodeller og applikasjoner. Ytelsen kan forbedres ytterligere ved bruk av forskjellige overflatebehandlinger og polering for optimal ytelse, noe som gir kundene en unik løsning skreddersydd for deres produksjonsmiljø.

I tillegg til tekniske fordeler, har SIC Inlet -ringer driftsmessige og økonomiske fordeler. Holdbarheten mot termiske og kjemiske spenninger betyr færre erstatninger og lavere vedlikeholdskostnader som betyr mindre driftsstans og forbruksvarer. Når du prøver å maksimere gjennomstrømningen og øke effektiviteten i en halvleder Fab, tilbyr SIC-innløpsringer en langsiktig kostnadseffektiv løsning, samtidig som du opprettholder prosesskvaliteten.

SemikorexSic Inlet RingsKombiner avanserte egenskaper til silisiumkarbidmateriale med konstruert presisjon for å levere forbedret ytelse for halvlederproduksjonsapplikasjoner. SIC-innløpsringer har høy termisk motstand, enestående kjemisk stabilitet og presisjonsbearbeiding, og er designet for å tilby pålitelighet i gasstrømningskontroll for høyteknologiske applikasjoner med langvarig holdbarhet. Forurensningsfrie og tilpassbare, SIC Inlet-ringer er en nøkkelkomponent for FAB-er som ønsker å opprettholde prosessstabilitet, høy effektivitet og utbytte for enheter. Ved å velge SIC -innløpsringer fra Semicorex, jobber halvlederprodusenter med en velprøvd løsning designet for å oppfylle kravene til de tøffeste prosessene innen halvlederproduksjon.