Silisiumglødebåt

Ultra-høy renhet for uberørte prosessmiljøer: Semicorex Silicon Annealing Boat, laget av silisium med ultrahøy renhet (opptil 13N renhet), minimerer risikoen for kontaminering under høytemperaturbehandling. Denne eksepsjonelle renheten sikrer at skivene blir utsatt for et uberørt miljø, og forhindrer introduksjon av uønskede urenheter som kan forringe enhetens ytelse og redusere utbyttet.

Redusert waferkontakt for minimal skade:Den glatte, polerte overflaten til silisiumglødingsbåten minimerer kontaktpunkter med skivene, noe som reduserer risikoen for riper, flis eller annen mekanisk skade under transport og prosessering betydelig. Denne forsiktige håndteringen bevarer integriteten til skivene, forbedrer det totale prosessutbyttet og bidrar til enheter av høyere kvalitet.

Tilpassbare design for optimalisert ytelse: Silicon Annealing Boat-designene kan skreddersys for å møte spesifikke prosesskrav, inkludert variasjoner i båtform, lengde, vinkel og antall wafer-støttetenner. Denne tilpasningen muliggjør optimalisering av gassstrømdynamikk, temperaturuniformitet og waferavstand i ovnen, og sikrer konsistente og repeterbare prosesseringsresultater for et bredt spekter av enhetsgeometrier og prosessparametere.

Høy polysilisiumavsetningsgrense for utvidet drift:Silisiumglødingsbåten har en høy toleranse for polysilisiumavsetning, noe som gir mulighet for lengre drift før rengjøring eller utskifting er nødvendig. Denne utvidede levetiden reduserer utstyrets nedetid forbundet med vedlikehold, og bidrar til økt produksjonskapasitet og lavere totale produksjonskostnader.