Solid silisiumkarbidfokuseringsring

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring er en sentral komponent i halvlederproduksjon, strategisk plassert utenfor waferen for å opprettholde direkte kontakt. Ved å bruke en påført spenning, fokuserer denne ringen plasmaet som krysser den, og forbedrer dermed prosessensartetheten på waferen. Konstruert utelukkende fra Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), denne fokusringen legemliggjør de eksepsjonelle kvalitetene som kreves av halvlederindustrien. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses Solid Silisium Carbide Focusing Ring som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Ved fremstilling av halvledere tjener Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring en avgjørende rolle ved å fungere som et skjold, som bevarer waferens integritet under etseprosessen. Dens omhyggelig konstruerte design sikrer presis og jevn etsing, og letter produksjonen av svært intrikate halvlederelementer som viser overlegen ytelse og pålitelighet.

Silisiumkarbid er det valgte materialet for fokuseringsringen på grunn av dets overlegne motstand mot plasmakorrosjon når det utsettes for plasma i vakuumreaksjonskammeret. Fokusringen av solid silisiumkarbid utkonkurrerer tradisjonell silisium i flere aspekter, inkludert:

(1) Høy tetthet som minimerer etsehastigheter.

(2) Overlegen båndgap og utmerkede isolasjonsegenskaper.

(3) Eksepsjonell termisk ledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient og termisk sjokkmotstand.

(4) Høy elastisitet kombinert med utmerket motstand mot mekaniske støt.

(5) Enestående hardhet, slitestyrke og korrosjonsbestandighet.

Silisiumkarbids ledningsevne og motstand mot ionesing er beslektet med silisium, noe som gjør Solid Silisium Carbide Focusing Ring til et ideelt materiale for denne applikasjonen.

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring står som en state-of-the-art løsning innen halvlederproduksjon. Den utnytter de unike egenskapene til CVD SiC for å lette pålitelige, høyytelses etseprosesser, noe som i betydelig grad bidrar til utviklingen av halvlederteknologi.