Teflon -kassetter

Semikorex teflon-kassetter er skivebærere med høy ytelse som er spesielt konstruert for bruk i krevende kjemiske miljøer der renhet, kjemisk motstand og termisk stabilitet er essensiell. Disse kassettene er laget av polytetrafluoroetylen (PTFE), og disse kassettene er mye brukt i halvlederproduksjon, våt etsing, kjemisk rengjøring og andre bruksområder der eksponering for svært aggressive kjemikalier er rutinemessig. Deres ikke-reaktive natur gjør dem ideelle for håndtering av delikate underlag som silisiumskiver, glasspaneler og andre presisjonskomponenter uten å innføre forurensning eller partikler i prosessen.

I forskjellige prosesser med halvlederproduksjon, for eksempel litografi, etsing og ionimplantasjon, spiller kassetter en rolle i transport og overføring av skiver mellom forskjellige enheter. Ulike prosessutstyr kan ha forskjellige grensesnittkrav for kassetter for å sikre at skivebærere kan mottas nøyaktig og plasseres.

Fra perspektivet med materiale og design, har materialer som er varmebestandige, utmerkede mekaniske egenskaper, dimensjonsstabilitet og er holdbare, antistatiske, lave utgassende, lav nedbør og resirkulerbare vanligvis. Ulike skivestørrelser, prosessnoder og prosesser bruker forskjellige materialer. De generelle materialene er PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, etc.

Teflon -kassetter tilbyr overlegen kjemisk motstand i miljøer ved bruk av hydrofluorsyre, salpetersyre, svovelsyre og andre sterke etsider. I motsetning til konvensjonelle materialer som polypropylen eller rustfritt stål, nedbryter ikke PTFE; svulmer ikke; utvaskes ingen stoffer i tøffe kjemiske bad. Ytelsen er derfor garantert over lengre perioder, og derav kassettenes pålitelighet for produksjonslinjer med høy gjennomstrømning og ultra-rene miljøer. Robustheten betyr lavere vedlikeholdsbehov og erstatningsfrekvens, og reduserer dermed langsiktige driftskostnader.

Teflon -kassetter viser veldig høy termisk stabilitet. De kan lett tåle temperaturer fra -200 ° C til +260 ° C, anvendelige for kryogene så vel som for høye temperaturprosesser. Selv plassert i oppvarmede tørkekamre eller kalde kjemiske bad, mister ikke kassettene sin strukturelle styrke; De er ikke fordrepet eller sprekker, og sikrer at skiver vil forbli trygt holdt under behandlingen. Denne temperaturmotstanden bidrar betydelig til prosessstyring og ensartethet, som er kritiske for halvleder- og MEMS -fabrikasjon.

Et like viktig kjennetegn ved teflonkassetter er dens inerte, ikke-pinne overflate. PTFE tillater iboende ikke adsorpsjon av partikler og kjemiske rester, og reduserer derfor risikoen for forurensning i rentromsmiljøer. Dette må kobles med en glatt overflatefinish som gjør det enkelt å skylle og tørke raskt, og dermed renere utfall og raskere syklustidsresultat. I halvlederbehandling, der feil kan være forårsaket av til og med mikroskopiske forurensninger, er dette renslighet og kjemiske inertnivå obligatorisk.

Hver kassett er nøyaktig laget til toleranser i stram størrelse, og garanterer jevn skiveinnretting og avstand mens den flyttes og plasseres i væske. Deres enkelt utformede form hjelper rask kjemisk strømning og drenering, som fremskynder kjemiske valutakurser og forbedrer rengjøring eller etsnings ensartethet på skiven.  Kassettene er tilgjengelige i standardstørrelser for 4-tommers, 6-tommers og 8-tommers skiver, med tilpasningsalternativer tilgjengelig for å passe til spesifikke underlagsdimensjoner, spaltetall og håndteringskrav.

TEflon -kassetter er designet for kompatibilitet med automatiserte våte benker og robothåndteringssystemer, og integreres enkelt i de fleste halvlederproduksjonsoppsett. Deres robuste konstruksjon og finish i rent rom oppfyller de strenge kravene til ISO-sertifiserte miljøer. Alle kassetter gjennomgår grundig inspeksjon og er forhåndsrenset i ultra-rent vann for å oppfylle renslighetsstandardene som kreves for avansert mikroelektronikkproduksjon. Konstitutt for konformitet og fullmateriell sporbarhet kan gis for å sikre samsvar med kvalitetssikringsprotokoller.