15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar er konstruert for å møte disse utfordringene, og gir en høyytelsesløsning for batch-behandling i middels til stor skala der termisk jevnhet og materialrenhet er avgjørende for å maksimere utbytte. I halvleder- og tynnfilmindustrien er integriteten til prosesskammeret avgjørende. Ettersom waferstørrelsene øker og kan ikke økes og rengjøres. kjemisk inert miljø blir ikke-omsettelig.

1. Materialvitenskap: Renheten til smeltet silika

Grunnlaget for vår klokkekrukke er høy renhetsmeltet silika (kvarts). I motsetning til standardglass består kvarts nesten utelukkende av SiO2, noe som gir unike egenskaper som er avgjørende for fremstilling av halvledere:

Ultra-lav kontaminering: Vår kvarts er behandlet for å minimere metalliske sporelementer (som Al, Fe, Na og K) til deler-per-milliard (ppb) nivå. Dette forhindrer diffusjon av urenheter inn i waferen under høytemperatursykluser, og sikrer den elektriske integriteten til enhetene.

Overlegen termisk sjokkmotstand: Kvarts har en termisk ekspansjonskoeffisient på nesten null (CTE). Dette gjør at 15" Quartz Bell Jar tåler rask temperaturstigning og bråkjøling uten risiko for brudd eller strukturell tretthet - et kritisk krav for reaktorer med høy gjennomstrømning.

Utmerket kjemisk inerthet: Kvarts er svært motstandsdyktig mot de fleste syrer (med unntak av flussyre) og korrosive prosessgasser, noe som sikrer at kammeret ikke brytes ned eller avgasser under aggressive etsings- eller avsetningssykluser.

2. Presisjonsteknikk og optisk klarhet

15" Quartz Bell Jar gir maksimalt volum og optimal gassstrømdynamikk for formålet med batch wafer-behandling. Krukken har en vertikal skorstein (også kjent som en hals) som er optimalt designet for å gi et innløp for gass eller hjelpe til med å trekke ut gass gjennom et vakuum fra glasset, som er vist på bildet ovenfor.

Optisk gjennomsiktighet - Det høye nivået av overføring avkvartsmaterialeå sende ut bølgelengder i de ultrafiolette, synlige og infrarøde områdene av spekteret muliggjør sanntidsbehandling samt bruk av eksterne lampevarmere for rask termisk prosessering (RTP).

Forsterkede tetningsoverflater - Halsen på krukken har en spesialutviklet ugjennomsiktig hvit forsegling (også referert til som en jordskjøt) som gir et hermetisk (luftforseglet) og vakuumtett grensesnitt mellom reaktorens bunnplate og krukken.

Utglødning for stressavlastning - Alle 15" Quartz Bell Jar gjennomgår en streng termisk glødingsprosess for å avlaste indre mekanisk belastning som har blitt plassert på glasset ved den mekaniske prosessen med å blåse eller forme glasset, og dermed redusere sjansen for at en krukke spontant vil svikte når den settes under vakuumbelastning.

3. Kritiske applikasjoner i Semiconductor Fab

Vår 15" Quartz Bell Jar er spesielt designet for integrering i følgende prosesser med høy verdi:

Silisiumepitaksi: Gir et gjennomsiktig, ikke-reaktivt kar for dyrking av høykvalitets enkrystall silisiumlag.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Tåler det korrosive plasmamiljøet samtidig som den opprettholder høy dielektrisk styrke.

Diffusjon og oksidasjon: Fungerer som et rent kammer med høy varme for dannelse av portoksider og doping-innkjøring.

Preform-produksjon av optisk fiber: Ideell for avsetning av silikalag med høy renhet ved produksjon av spesialglass.

Hos Semicorex håndterer vi hver klokke som et stykke presisjonslaboratorieutstyr. Prosessen vår inkluderer: Streng materialinnhenting med verifisert elektronisk kvalitetkvartsingots; avansert fabrikasjon som kombinerer tradisjonelle ferdigheter i glassblåsing med CNC-kontrollert sliping og polering; og grundig inspeksjon ved bruk av polarisert lys for å oppdage restspenning og laserinterferometri for presise dimensjonskontroller.