Halvleder Quartz Bell Jar

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar er vanligvis laget av syntetisk smeltet kvarts, et materiale kjent for sin eksepsjonelle renhet, motstand mot høye temperaturer og lave termiske ekspansjonsegenskaper. Dette sikrer at kammeret ikke introduserer forurensninger eller urenheter i halvlederfremstillingsprosessen.

Semiconductor Quartz Bell Jar er typisk sylindrisk eller kuppelformet, med en flat eller lett buet base for å romme halvlederskiver eller underlag. Den har en presisjonskonstruert, lufttett forseglingsmekanisme, for eksempel en flens eller O-ringtetning, for å opprettholde et vakuum eller kontrollert atmosfære inne i kammeret under behandlingen.

Semiconductor Quartz Bell Jar tilbyr utmerket optisk klarhet, som lar operatører visuelt overvåke prosesser inne i kammeret uten å gå på akkord med nøyaktigheten eller introdusere interferens. Kvarts er svært motstandsdyktig mot kjemiske angrep fra de fleste syrer, baser og løsemidler som vanligvis brukes i halvlederfremstillingsprosesser. Dette sikrer integriteten til kammeret og forhindrer forurensning av underlagene.

Kvarts har et høyt smeltepunkt og termisk stabilitet, noe som gjør at Semiconductor Quartz Bell Jar tåler forhøyede temperaturer som oppstår under avsetnings- eller utglødningsprosesser uten deformasjon eller degradering.

Søknader:

Deponering: Halvlederkvartsklokkekrukker brukes i ulike avsetningsteknikker som kjemisk dampavsetning (CVD), fysisk dampavsetning (PVD) og atomlagsavsetning (ALD) for å avsette tynne filmer av materialer på halvledersubstrater med presisjon og ensartethet.

Etsing: De brukes i plasmaetseprosesser for å selektivt fjerne materiale fra halvlederskiver, og skape intrikate mønstre og strukturer med høy nøyaktighet og repeterbarhet.

Utglødning: Klokkeglass brukes i utglødningsprosesser for å utsette halvlederskiver for kontrollert termisk behandling, noe som letter krystallisering, aktivering av dopingmiddel og stressavlastning i avsatte filmer.