> Produkter > Wafer > SiC substrat > 4 tommer høy renhet halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidig polert wafersubstrat

Produkter

Nye Produkter

4 tommer høy renhet halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidig polert wafersubstrat

Semicorex tilbyr ulike typer 4H og 6H SiC wafere. Vi har vært produsent og leverandør av wafer-substrater i mange år. Vårt 4-tommers høyrent halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidet polerte wafersubstrat har en god prisfordel og dekker de fleste europeiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex har en komplett serie med silisiumkarbid (SiC) wafer produkter, inkludert 4H og 6H substrater med N-type, P-type og høy renhet semi-isolerende wafere, de kan være med eller uten epitaksi.

Vi introduserer vårt banebrytende 4-tommers halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidig polerte wafersubstrat med høy renhet, et toppprodukt som er designet for å møte de krevende kravene til avanserte elektroniske og halvlederapplikasjoner.

4-tommers halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidig polert wafer-substrat med høy renhet brukes hovedsakelig i 5G-kommunikasjon, radarsystemer, styrehoder, satellittkommunikasjon, krigsfly og andre felt, med fordelene ved å forbedre RF-rekkevidden, ultralang rekkevidde identifikasjon, anti-jamming og høyhastighets, høy kapasitet informasjonsoverføring og andre applikasjoner, regnes som det mest ideelle substratet for å lage mikrobølgekraftenheter.

Spesifikasjoner:

● Diameter: 4"

● Dobbeltpolert

●l Karakter: Produksjon, Forskning, Dummy

● 4H-SiC HPSI Wafer

● Tykkelse: 500±25 μm

●l Mikrorørtetthet: ≤1 ea/cm²~ ≤10 ea/cm²

Varer	Produksjon	Forske	Dummy
Krystallparametere
Polytype	4H
Overflateorientering på aksen	<0001 >
Overflateorientering utenfor aksen	0±0,2°
(0004)FWHM	≤45 buesek	≤60 buesek	≤1OOarcsec
Elektriske parametere
Type	HPSI
Resistivitet	≥1 E9ohm·cm	100 % areal > 1 E5ohm·cm	70 % areal > 1 E5ohm·cm
Mekaniske parametere
Diameter	99,5 - 100 mm
Tykkelse	500±25 μm
Primær flat orientering	[1-100]±5°
Primær flat lengde	32,5±1,5 mm
Sekundær flat stilling	90° CW fra primær flat ±5°. silisium med forsiden opp
Sekundær flat lengde	18±1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	AT
Bue	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Forside (Si-face) ruhet (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Struktur
Mikrorørtetthet	≤1 ea/cm²	≤5 ea/cm²	≤10 ea/cm²
Karboninneslutningstetthet	≤1 ea/cm²	AT
Sekskantet tomrom	Ingen	AT
Metallurenheter	≤5E12atomer/cm²		AT
Frontkvalitet
Front	Og
Overflatefinish	Si-face CMP
Partikler	≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm)	AT
Riper	≤2ea/mm. Kumulativ lengde ≤Diameter	Kumulativ lengde≤2*Diameter	AT
Appelsinskall/groper/flekker/striper/ sprekker/forurensning	Ingen		AT
Kantskår/innrykk/brudd/sekskantplater	Ingen
Polytype områder	Ingen	Akkumulert areal≤20 %	Akkumulert areal≤30 %
Lasermerking foran	Ingen
Ryggkvalitet
Avslutning bak	C-ansikt CMP
Riper	≤5ea/mm, Kumulativ lengde≤2*Diameter	AT
Ryggdefekter (kantskår/innrykk)	Ingen
Ryggruhet	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Lasermerking bak	1 mm (fra øvre kant)
Kant
Kant	Chamfer
Emballasje
Emballasje	Innerposen fylles med nitrogen og ytterposen støvsuges. Multi-wafer-kassett, epi-klar.
*Merknader: "NA" betyr ingen forespørsel. Elementer som ikke er nevnt kan referere til SEMI-STD.

Hot Tags: 4 tommer høyrent halvisolerende HPSI SiC dobbeltsidig polert wafersubstrat, Kina, produsenter, leverandører, fabrikk, tilpasset, bulk, avansert, slitesterk

Produkttag

Relatert kategori