Aluminiumnitridvarmere

Semikorex aluminiumnitridvarmere er avanserte keramiske varmeelementer designet for applikasjoner som krever høy termisk ledningsevne, elektrisk isolasjon og eksepsjonell holdbarhet. Disse varmeapparatene er konstruert fra aluminiumnitridkeramikk, og gir rask og jevn oppvarming, noe som gjør dem ideelle for miljøer med høy presisjon som halvlederbehandling, medisinsk diagnostikk og avansert analytisk instrumentering.

Aluminiumnitridvarmere er viktige komponenter i halvleder tynn filmavsetningsutstyr. De brukes direkte på prosesskammeret og i direkte kontakt med skiven. De har ikke bare skiven, men sørger også for at skiven får en 

Stabil og ensartet prosesstemperatur. Denne funksjonen er essensiell for høye presisjonsreaksjoner på skiveoverflaten og generasjonen av ensartede tynne filmer.

Vanligvis inkluderer aluminiumnitridvarmere et keramisk underlag med en skivebelastningsflate og en sylindrisk støttekropp som støtter det på baksiden. I tillegg til en resistiv oppvarmingskrets for oppvarming, er en RF -elektrode og en elektrostatisk chuckelektrode og andre ledere også gitt inne eller på overflaten av det keramiske underlaget.

Tynn filmavsetningsutstyr bruker vanligvis keramiske materialer basert påAluminiumnitrid (ALN)fordi det innebærer et miljø med høy temperatur. Årsaken til at aluminiumnitridvarmere er foretrukket i halvlederproduksjon skyldes hovedsakelig deres unike fysiske og kjemiske egenskaper. Aluminiumnitrid har ikke bare høy termisk ledningsevne og kan oppnå rask oppvarming og avkjøling på kort tid, men har også god elektrisk isolasjon og mekanisk styrke, noe som sikrer varmerens stabilitet og pålitelighet. I tillegg er den termiske ekspansjonskoeffisienten for aluminiumnitrid lik den for silisium, noe som bidrar til å redusere effekten av termisk stress på skiven og forbedre prosessutbyttet.

Generelt sett,keramiske varmeovnerbrukes hovedsakelig i tynnfilmavsetningsutstyr. Siden det involverer høye temperaturprosesser, er det keramiske materialet som hovedsakelig er aluminiumnitrid; Elektrostatiske chucks brukes hovedsakelig i etsningsutstyr, og det keramiske materialet som brukes er hovedsakelig aluminiumoksyd. Med utviklingen av halvledeteknologi er det en overlapp mellom keramiske varmeovner og elektrostatiske chucks. For eksempel er keramiske varmeovner som brukes i tynnfilmavsetningsutstyr utstyrt med elektrostatiske chucks, som har de doble funksjonene for oppvarming av høy temperatur og elektrostatisk adsorpsjon. Elektrostatiske chucks som brukes i etsningsutstyr begynner også å involvere høye temperaturprosesser, og det keramiske materialet må endres fra aluminiumoksyd til aluminiumnitrid.