Dyp-UV LED epitaksial susceptor

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av silisiumkarbidbelagt grafittsusceptor i Kina. Vi har vært produsent og leverandør av Deep-UV LED Epitaxial Susceptor i mange år. Våre produkter har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Deep-UV LED epitaksiale susceptorer er avgjørende for fremstilling av LED. Semicorex silisiumkarbid (SiC)-belagt plate gjør produksjonen av høykvalitets dype UV LED-wafere mer effektiv. SiC Coating er et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). Den har høye korrosjons- og varmebestandighetsegenskaper samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD).
Uansett hvilke spesifikke krav du måtte ha, vil vi identifisere den beste løsningen for MOCVD-epitaksi så vel som halvleder- og LED-industrien.
Vår Deep-UV LED Epitaxial Susceptor er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår Deep-UV LED Epitaxial Susceptor.

Parametre for Deep-UV LED Epitaksial Susceptor

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av Deep-UV LED Epitaxial Susceptor

- Lavere bølgelengdeavvik og høyere chiputbytte
- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
- Strammere dimensjonstoleranser fører til høyere produktutbytte og lavere kostnader
- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.