Epi-SiC-reseptor

Semicorex Epi-SiC Susceptor er et sammenløp av utholdenhet ved høye temperaturer, kjemisk treghet og overlegen termisk diffusjon, og står som et paragon for spenst og effektivitet i møte med de intensive forholdene som er synonymt med epitaksielle vekstbestræbelser. Påføringen av et SiC-belegg forsterker de termiske egenskapene til Epi-SiC-susceptoren betydelig. Denne forbedringen letter den jevne termiske fordelingen som er avgjørende for oppvarmingen av skivene, som er sentral for avsetning av konsistente epitaksiale lag av høy kvalitet på tvers av halvlederskiver.

Skreddersydd for å møte de strenge kravene til epitaksiale prosesser for wafer, understøtter Epi-SiC Susceptor den sømløse transporten av wafere i ovnsmiljøet. Dens robuste design er et bolverk mot waferforskyvning eller kompromiss, og reduserer dermed forekomsten av skade gjennom de kritiske stadiene av epitaksiallagsutvikling. I tillegg fungerer Epi-SiC Susceptor som en beskyttende barriere for grafittsubstratet under, og beskytter det mot kjemiske interaksjoner og slitasje som epitaksiale prosesser kan indusere.

Sammensmeltingen av en spenstig grafittkjerne med et beskyttende SiC-belegg styrker ikke bare Epi-SiC Susceptors ytelsesmålinger, men forlenger også levetiden betydelig. Resultatet er en investering som gir utbytte i form av vedvarende driftsbesparelser for halvlederproduksjonsbedrifter, og posisjonerer Epi-SiC Susceptor som et fornuftig valg for de som ønsker å optimalisere produksjonsoperasjonene sine.