Semicorex sin Etching Carrier Holder for PSS Etching er konstruert for de mest krevende epitaksiutstyrsapplikasjonene. Vår ultrarene grafittbærer tåler tøffe miljøer, høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Den SiC-belagte bæreren har utmerkede varmefordelingsegenskaper, høy varmeledningsevne og er kostnadseffektiv. Våre produkter er mye brukt i mange europeiske og amerikanske markeder, og vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Hos Semicorex har vi designet Etching Carrier Holder for PSS Etching spesifikt for de tøffe miljøene som kreves for epitaksial vekst og waferhåndteringsprosesser. Vår ultrarene grafittbærer er ideell for tynnfilmavsetningsfaser som MOCVD, epitaksi-susceptorer, pannekake- eller satellittplattformer, og prosessering av waferhåndtering som etsing. Den SiC-belagte bæreren har høy varme- og korrosjonsbestandighet, utmerkede varmefordelingsegenskaper og høy varmeledningsevne. Våre produkter er kostnadseffektive og gir en god prisfordel.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår Etching Carrier Holder for PSS Etching.
Parametre for etsningsbærerholder for PSS-etsing
Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Krystallstruktur |
FCC β-fase |
|
Tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kjemisk renhet |
% |
99.99995 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Termisk ekspansjon (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funksjoner av Etching Carrier Holder for PSS Etching
- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter