Hos Semicorex har vi designet PSS Etching Carrier Tray for LED spesielt for de tøffe miljøene som kreves for epitaksial vekst og waferhåndteringsprosesser. Vår ultrarene grafittbærer er ideell for tynnfilmavsetningsfaser som MOCVD, epitaksi-susceptorer, pannekake- eller satellittplattformer, og prosessering av waferhåndtering som etsing. Den SiC-belagte bæreren har høy varme- og korrosjonsbestandighet, utmerkede varmefordelingsegenskaper og høy varmeledningsevne. Vår PSS Etching Carrier Tray for LED er kostnadseffektiv og gir en god prisfordel. Vi henvender oss til mange europeiske og amerikanske markeder og ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Semicorex sin PSS Etching Carrier Tray for LED er konstruert for tøffe miljøer som kreves for epitaksial vekst og waferhåndteringsprosesser. Vår ultrarene grafittbærer er designet for å støtte wafere under tynnfilmavsetningsfaser som MOCVD og epitaksi-susceptorer, pannekake- eller satellittplattformer. Den SiC-belagte bæreren har høy varme- og korrosjonsbestandighet, utmerkede varmefordelingsegenskaper og høy varmeledningsevne. Våre produkter er kostnadseffektive og har en god prisfordel. Vi henvender oss til mange europeiske og amerikanske markeder og ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår PSS Etching Carrier Tray for LED.
Parametre for PSS Etching Carrier Tray for LED
Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Krystallstruktur |
FCC β-fase |
|
Tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kjemisk renhet |
% |
99.99995 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Termisk ekspansjon (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funksjoner av PSS Etching Carrier Tray for LED
- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter