Horisontale Quartz Wafer-båter

Horisontale kvarts wafer båtervanligvis holder halvlederskiver horisontalt i ovnsrørene til varmebehandlingsutstyr, oppvarmet av eksterne varmeenheter. De er mye brukt i krevende høytemperaturkorrosive halvledervarmebehandlingsprosesser, for eksempel termisk oksidasjon, høytemperaturdiffusjon, gløding og kjemisk dampavsetning (CVD).

Funksjonene til Semicorex horisontale kvartswaferbåter

1. Stabil holding og sikring

Semicorex horisontale kvartswafere har utmerket bæreevne og kan hele tiden tilby stabil støtte for flere halvlederwafere. Og deres optimaliserte utvendige design og nøyaktige sporstruktur sikrer hveroblater perfekt montert og godt festet på de horisontale kvartswafer-båtene, noe som reduserer wafer-riper og kollisjoner som forårsakes av risting, forskyvning og vipping betydelig under transport- og produksjonsprosesser.

2.Prosessuniformitetshjelp

Den like avstandsmessige spaltestrukturen til horisontale kvartswafer-båter muliggjør ryddig plassering av halvlederskiver, og skaper dermed et stabilt og jevnt gassstrømningsfelt i høytemperaturovnene. Den strukturelle designen oppnår konsistent gasskontakt og reaksjonshastighet på hver waferoverflate, og reduserer derved effektivt ulike defekter forårsaket av ujevn oppvarming og differensiell gasskontakt, slik som ufullstendig waferoksidasjon, ujevn tynnfilmavsetning og dopingkonsentrasjonsavvik.

3. Langvarig levetid

Takket være den overlegne høytemperaturmotstanden til kvartsmateriale, tåler Semicorex horisontale kvartswafer-båter høye temperaturer på 1100-1200 ℃ i lang tid uten deformasjon eller smelting.Kvartser kjemisk inert overfor gasser som vanligvis brukes i halvlederprosesser, som oksygen, nitrogen og hydrogenklorid. Denne eksepsjonelle kjemiske inertheten kan minimere risikoen for korrosjon fra prosessgasser, forlenge levetiden betraktelig og redusere utstyrsbyttetiden og -kostnadene.