Semicorex Quartz Diffusion Boat, også referert til som kvartsbærer eller kvartswaferbåt, er spesielt utviklet for å holde halvlederwafere under kritiske prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD), termisk oksidasjon og gløding.**
I kjemisk dampavsetning (CVD) er rollen til kvartsdiffusjonsbåten avgjørende for jevn avsetning av tynne filmer på halvledersubstrater. Den nøyaktige konstruksjonen av Quartz Diffusion Boat sikrer at skivene holdes sikkert på plass, noe som gir en jevn fordeling av de gassformige reaktantene over overflatene deres. Denne jevnheten er avgjørende for å oppnå konsistent filmtykkelse og sammensetning, som direkte påvirker den elektriske ytelsen til halvlederenhetene. Semicorex Quartz Diffusion Boat er designet for å tåle de høye temperaturene og korrosive miljøene som vanligvis forekommer i CVD-prosesser, og sikrer langsiktig holdbarhet og pålitelighet.
Termisk oksidasjon er en annen kritisk prosess i halvlederproduksjon, der et silisiumdioksidlag dyrkes på overflaten av silisiumskiver. Dette oksidlaget fungerer som en isolator og er avgjørende for at halvlederenheter skal fungere korrekt. Quartz Diffusion Boat er konstruert for å gi utmerket termisk stabilitet, og sikrer at skivene blir utsatt for en jevn temperaturprofil under oksidasjonsprosessen. Denne jevnheten er avgjørende for veksten av et konsistent og høykvalitets oksidlag, som forbedrer ytelsen og påliteligheten til de endelige halvlederenhetene.
Annealing, som involverer kontrollert oppvarming og avkjøling av wafere for å endre deres fysiske og kjemiske egenskaper, er en annen prosess der kvartsdiffusjonsbåten spiller en viktig rolle. Den nøyaktige kontrollen av temperatur og atmosfære under gløding er avgjørende for å forbedre krystallstrukturen til silisiumet, aktivere dopingmidler og redusere defekter. Semicorex Quartz Diffusion Boat er designet for å opprettholde strukturell integritet og termisk stabilitet under de høye temperaturene og raske temperaturendringer som er typiske for glødeprosesser. Denne stabiliteten sikrer at skivene behandles jevnt, og oppnår de ønskede materialegenskapene og forbedrer ytelsen til halvlederenhetene.
Tilpasning er et nøkkelaspekt ved Quartz Diffusion Boat, ettersom ulike halvlederproduksjonsprosesser har unike krav. Hos Semicorex tilbyr vi et bredt spekter av tilpassede former og størrelser for å møte de spesifikke behovene til våre kunder. Vår produktlinje inkluderer ulike typer kvartswafer-bærere, for eksempel kvartsbåter, slissebåter, flatebåter og stående båter. Vi spesialiserer oss på å produsere waferbærere for en rekke spesifikasjoner, inkludert 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ og 8″ wafere. Både klare smeltede og ugjennomsiktige materialer er tilgjengelige, slik at vi kan tilby løsninger som er skreddersydd for de spesifikke kravene til hver applikasjon.
Våre produksjonsevner støttes av toppmoderne fasiliteter, inkludert støvfrie sveiserom og prosesseringsverksteder av høy standard. Vi bruker avanserte teknologier som laserskjæring, CNC maskineringssentre, CNC sporemaskiner og effektiv vannskjæring for å sikre høyeste kvalitet og presisjon i Quartz Diffusion Boat. Disse avanserte produksjonsprosessene gjør oss i stand til å produsere kvartsbåter med presise dimensjoner og overlegen overflatefinish, noe som sikrer optimal ytelse i halvlederproduksjonsprosesser.