Vertikale Quartz Wafer-båter

I halvlederproduksjonsprosesser må halvlederkomponenter i reaksjonskammeret oppfylle strenge standarder for høy renhet. Ellers kan selv mikroskala eller nanoskala urenheter eller forurensninger forårsake irreversibel skade på ytelsen og ytelsen til halvlederenheter.

Kvarts wafer båterer vanligvis installert vertikalt i høytemperaturreaksjonskamre som diffusjonsovner, oksidasjonsovner og glødeovner, hvor de må være i direkte kontakt med skivene. Semicorex sine vertikale kvartswafer-båter er produsert av høyrente kvartsmaterialer for å tilfredsstille disse høye renhetskravene. Dette kloke materialvalget unngår effektivt waferforurensning forårsaket av reaktanter som frigjøres fra waferbåtene under produksjonsprosessen.

I halvlederproduksjon er waferbåter pålagt å ikke bare gjennomgå gjentatte varme- og kjølesykluser, men også tåle korrosjon av prosessgasser over lengre tid. Semicorex sin vertikale kvartsoblatBåter viser eksepsjonell dimensjonsstabilitet i de utfordrende driftsforholdene med konstant termisk sykling på grunn av deres iboende termiske stabilitet. Disse overlegne termiske egenskapene forhindrer waferdeformasjon og skade forårsaket av presisjonsdegradering eller strukturell deformasjon av de vertikale kvartswaferbåtene. Dessuten, takket være deres høye kjemiske treghet, kan vertikale kvartswaferbåter være motstandsdyktige mot reaksjonen med etsende gasser som oksygen, vanndamp, hydrogenklorid og ammoniakk. Denne egenskapen reduserer i stor grad muligheten for at kjemisk korrosjon vil kompromittere den strukturelle integriteten til de vertikale kvartswaferbåtene.

I tillegg til ytelsesfordelene nevnt ovenfor, demonstrerer Semicorex sine vertikale kvartswaferbåter også utmerket konkurranseevne i dimensjonsnøyaktighet og strukturell design. Hver del av dem er produsert ved hjelp av presisjonsbearbeidingsteknikker. Denne nøyaktige dimensjonskontrollen sikrer nøyaktig waferposisjonering, og minimerer riper og sprekker forårsaket av forskyvning eller kollisjoner under lasting, prosessering og lossing.