Planetary Sosceptor

Semicorex Planetary Sosceptor er en uunnværlig komponent for halvlederpitaksiske reaktorer, spesielt konstruert for Aixstron G5+ utstyr. Konstruert av grafitt med høy renhet ogbelagt med silisiumkarbid (sic), Denne masceptoren garanterer overlegen termisk stabilitet, eksepsjonell kjemisk motstand og enestående ytelse i miljøer med høy temperatur.

Aixstron G5+ Epitaxy -reaktoren står som et mål i bransjen for GaN, SIC og andre sammensatte halvledervekstprosesser. Planetary -følsomheten er sentralt i å optimalisere gasstrømmen, og sikrer presis skiverotasjon, opprettholde eksakt temperaturkontroll og oppnå ensartet avsetning av epitaksiale lag. Den innovative designen forbedrer prosessenes repeterbarhet betydelig, noe som gjør det til det ideelle valget for produksjonsmiljøer med høyt volum.

Viktige funksjoner  

- Avansert materialsammensetning: Laget av grafitt med høy renhet med et SIC-belegg, noe som gir økt holdbarhet og motstand mot tøffe prosessforhold.  

- Optimalisert termisk ytelse: Sikrer ensartet varmefordeling, kritisk for vekst med epitaksial lag med høy presisjon.  

- Kjemisk resistens: SIC -belegget forhindrer grafittoksidasjon, forlenger levetiden til masceptoren og opprettholder prosessens renhet.  

- Presisjonsteknikk: Designet for å oppfylle de strenge kravene til AixTron G5+ -systemer, og sikre sømløs integrasjon og optimal reaktoreffektivitet.  

- Høy overflateenhet: minimerer partikkelforurensning, som støtter overlegen skivekvalitet og høyere utbytte i halvlederproduksjon.  

Fordelene med vår planetariske sensekter  

- Utvidet levetid:Sic beleggreduserer slitasje betydelig, noe som resulterer i lavere erstatningsfrekvens og reduserte driftskostnader.  

- Forbedret prosessstabilitet: Sikrer jevn oppvarming og minimale termiske gradienter, noe som fører til høykvalitets skiveproduksjon.  

- Kompatibilitet og tilpasning: Tilgjengelig i standard- og tilpassede design for å oppfylle spesifikke AixTron G5+ prosesskrav.  

GrafittDeler spiller en uunnværlig og veldig viktig rolle i halvlederprosessen. Kvaliteten på grafittmaterialer har stor innvirkning på kvaliteten på ferdige produkter. Vår grafittbatch -konsistens og materialhomogenitet kan kontrolleres og garanteres gjennom produksjonsprosessen.

1. Liten batchproduksjon, karboniseringsovnen bruker bare en liten ovn med bare 50 kubikkmeter

2. Hvert stykke materiale overvåkes og spores

3. Multi-punkts temperaturovervåking i ovnrommet for å sikre at temperaturforskjellen holdes i et veldig lite område

4.

Semicorex Planetary Sisceptor er den premiumløsningen for Aixstron G5+ -reaktorer, og tilbyr enestående termisk stabilitet, kjemisk motstand og presisjonsytelse. Den er konstruert for de mest krevende halvlederproduksjonsprosessene, og driver høyere skiveutbytte, minimerer forurensningsrisiko og forlenger levetid for utstyret. Oppgrader ditt epitaxy-system med en toppnivåsceptor for uovertrufne resultater.