Produkter

Semicorex solide CVD SiC-ringer er høyytende ringformede komponenter som hovedsakelig brukes i reaksjonskamrene til plasmaetseutstyr i den avanserte halvlederindustrien. Semicorex solide CVD SiC-ringer gjennomgår streng materialvalg og kvalitetskontroll, og tilbyr uovertruffen materialrenhet, eksepsjonell plasmakorrosjonsmotstand og konsistent driftsytelse.

Semicorex SiC Seals er høyytelses mekaniske overflatekomponenter konstruert for å gi overlegen slitestyrke, termisk stabilitet og universell kjemisk treghet i de mest krevende roterende utstyrsmiljøene. Semicorex er en profesjonell SiC keramisk materialeleverandør, som kan levere høypresisjonsprodukter til globale kunder.*

Semicorex SiC Pidestal er en høypresisjon, multifunksjonell maskinvarekomponent designet for å gi den termiske stabiliteten og intrikate væskefordelingen som kreves for avanserte mikrokanalreaksjonssystemer. Semicorex spesialiserer seg på konstruksjon og levering av disse høyrente SiC-sokkelene i henhold til kundenes behov.*

Semicorex SiC-belagte grafittjigger er de essensielle grafittkomponentene dekket med et tett og jevnt SiC-belegg. Kombinert med utmerkede egenskaper til både grafitt og silisiumkarbid, presterer Semicorex SiC-belagte grafittjigger pålitelig under de komplekse halvlederemballasje- og testforholdene.

Semicorex SiC keramisk vakuumchuck er produsert av sintert tett silisiumkarbid (SSiC) med høy renhet, og er den definitive løsningen for høypresisjons waferhåndtering og -tynning, og gir uovertruffen stivhet, termisk stabilitet og flathet under mikrometer. Semicorex er opptatt av å tilby høykvalitets og kostnadseffektive produkter til kunder over hele verden.*

Semicorex CVD SiC-belagte ovnsrør er de avanserte rørformede komponentene som er spesielt produsert for høytemperatur-halvlederbehandling, som oksidasjon, diffusjon og utglødning av halvlederskiver. Ved å utnytte avanserte prosesseringsteknologier og moden produksjonserfaring er Semicorex forpliktet til å levere presisjonsmaskinerte CVD SiC-belagte ovnsrør med markedsledende kvalitet til våre verdsatte kunder.