Kvarts flytende lagringstank

Semicorex kvarts flytende lagringstank er en spesialbygget beholder for halvleder våt, rene applikasjoner der væskehåndtering krever et ekstraordinært nivå av renslighet og stabilitet av materialer. Primært brukes denne tanken til å samle inn avfall eller gjenværende væsker fra rengjøring av skiven. Det er uvurderlig for prosessproduktivitet og forurensningskontroll. Under en våt ren prosess involverer skylling av halvleder skive med store volumer med ultrapurvann eller kjemiske reagenser som blir avfallsvæske i enden av skyllingen. I tillegg må gjenværende væske etter skylling samles fordi den har potensielle sporforurensninger, eller verdifulle kjemiske bestanddeler som ikke må gå ned i avløpet. Avfallsvæske må også samles når beleggstrinn utføres, for eksempel fotoresistapplikasjoner, der ekstra rester eller avfallskjemikalie må samles. Dermed har kvartsledningstanken de perfekte leveranser for å gi høy renhet, kjemisk kompatibilitet og lave forurensningsegenskaper.

Tanken er laget av smeltet kvarts med høy renhet som er veldig motstandsdyktig mot sterke syrer, alkalier og løsningsmidler som regelmessig brukes i halvlederrensing og litografi. Enten en konvensjonell beholder, kvarts gir brikkene flytende materiale den beste sjansen for ingen sekundær forurensningseksponering, utvasking eller uønsket ioneksponering. Et av de ledende aspektene ved kvartsets flytende lagringstank er muligheten til å støtte analytiske arbeidsflyter i halvlederfabs, ettersom de resterende væskene samlet i et kvartsfartøy kan brukes i nedstrøms prosesser som urenhetsdeteksjon, forurensningsanalyse og kjemisk resirkulering. Iboende for egenskapene til kvarts, kan den trygt inneholde restvæsker og gi mulighet for visuell vurdering uten risiko for interaksjon gitt dens inertness og åpenhet, i tillegg til dens termiske stabilitet, noe som gjør at væske i tanken kan bli mildt akselerert til enhver prosesstemperatur uten risiko for nedbrytning eller påvirkning av væsken i tanken. Når det er sagt, er kvarts-flytende lagringstanken designet for både avfallsinnsamling og kortvarig lagring før de blir overført eller behandlet.

Hver detalj i prosessforurensningskontrollsaker, spesielt ettersom avanserte enhetsproduksjonsnoder krymper og renslighetsparametere blir strengere. Quartz Liquid Storage Tank garanterer at FAB -operatører er sikre på at avfallshåndtering ikke blir en kilde til sekundær forurensning. Ved å inneholde gjenværende rengjøringsløsninger eller overflødig prosessvæsker, forhindrer det oppstrøms og nedstrøms arbeidsflyter fra å bli gyldig utført. I tillegg støtter tanken A FABs bærekraftsmål, ettersom innsamlede væsker kan behandles for reagensrensing og gjenbruk, og dermed ved å bruke en annen mindre kjemisk intensiv prosess og resultere i mindre miljøbelastning totalt sett.

Fra et praktisk synspunkt tillater utformingen av kvarts -flytende lagringstanken enkelt å integrere seg i våtrengjøringsmaskinvare og kjemiske styringssystemer. Formfaktoren kan tilpasses eksisterende verktøykonfigurasjoner. Presisjonsfremstilling metoder sikrer de runde dimensjonene, og at den glatte indre overflaten enkelt vil transportere og lagre alle væsker i din halvleder fab -miljø. En ikke-porøs kvartsstruktur vil forhindre absorpsjon av forurensninger, og tillate rengjøring av tanken, noe som gjør den i stand til gjenbruk, i motsetning til konvensjonelle plastbeholdere som opererer i kjemiske kontrollerte miljøer ved betydelige volumoperasjoner.

Hovedpoenget, kvarts -flytende lagringstanken er spesialdesignet for viktighet i alle halvleder våtrengjøring og beleggapplikasjoner. Ved å skape best mulig materiell renhet, kjemisk motstand og forurensningsfri væskelagring i et operasjonelt anlegg for halvleder, er FABS i stand til å effektivt kontrollere prosessen sin med liten eller ingen oversitt av forurensning. Enten en FAB bruker tanken for å motta direkte avfallsinnsamling, for utvinning av et reagens, etc., eller for urenhetsanalyse, forblir historien til kritiske trinn i prosessen i original tilstand uten at det går ut over driften. Når du ønsker å maksimere utbyttet, minimerer risikoen for arbeidsprosessen din til tap av stabilitet og maksimerer effektiviteten til kjemisk styring av biprodukter, er forurensningsfri kvarts det eneste valget som gir pålitelig ytelse med all din våte rengjøring.