Semicorex stiv isolasjon er en høy ytelse kort fiber hardt filt, spesialutviklet for termisk styring i epitaxy-utstyr. Å velge semikorex betyr å velge velprøvd kompetanse, premiummaterialer og tilpassede løsninger som sikrer høyeste renhet, pålitelighet og effektivitet for halvlederproduksjonsprosesser.*
Semikorex stiv isolasjon er spesialdesignet for SIC-epitaksial prosess, med unik monteringsstruktur, høy resistivitet, gnistforebygging og god termisk isolasjonsytelse. Den stive isolasjonen er en termisk barriere med høy ytelse laget av premium korte keramiske fibre. Dette stive isolasjonsmaterialet er konstruert til en hard filtstruktur, og kombinerer utmerket mekanisk styrke med overlegne termiske isolasjonsegenskaper, noe som gjør det ideelt for de krevende forholdene i halvlederproduksjonsmiljøer.
Halvledergrad silisium og silisiumkarbid må vanligvis tilberedes i et miljø med høy temperatur ved bruk av spesifikke instrumenter som enkeltkrystall silisiumtrekking av ovner og silisiumkarbid-krystallvekstovner, og det er strengere krav til forberedelsesmiljøet. For eksempel vedlikehold av forberedelsestemperaturen og reduksjon av ekstern urenhetsinterferens. Av denne grunn ble en termisk isolasjon som ble vevd fra karbonfiber med høy renhet, og med fordelene med enkel støping, ikke lett å bryte, sterk termisk isolasjonsytelse og lavt urenhetsinnhold, ble det et veritabelt "varmt klær" før fødselen av halvledere.
Ved å bruke PAN-basert karbonfiberfilt og viskosebasert karbonfiber som føles som råvarer, blir stiv isolasjon fremstilt gjennom prosesser som bløtlegging, liming, herding, varmebehandling og maskinering. Det er mye brukt i høye temperaturutstyr som industrielle ovner i pulvermetallurgi, vakuumsinterende ovner, fotovoltaiske enkeltkrystallovner, polykrystallinske ovner og halvlederkrystallvekstovner. Den har god trykkmotstand og utmerket termisk isolasjonsytelse. Sammenlignet med myk filt, har stiv isolasjon fordelene med enkel installasjon, stabil størrelse, lav termisk isolasjonsdemping og lang levetid.