Satellittplate

Semicorex satellittplate er en viktig wafer -bærer under den epitaksiale vekstprosessen, og garanterer ensartet avsetning og optimal prosesseffektivitet. Denne platen er konstruert av grafitt med høy renhet og belagt med et robust silisiumkarbid (SIC) lag, og leverer eksepsjonell termisk stabilitet, kjemisk motstand og mekanisk styrke, og styrker sin posisjon som en uunnværlig komponent i høyytelses halvlederproduksjon.

Med en grafittbase med høy renhet utmerker satellittplaten seg i termisk ledningsevne og strukturell integritet. DeSic beleggøker holdbarheten betydelig, og gir høye temperaturresistens, kjemisk inerthet og reduserer partikkelgenerering dramatisk. Denne kraftige kombinasjonen sikrer at platen tåler tøffe behandlingsforhold mens den konsekvent presterer på et høyt nivå. Grafittbasen letter effektiv varmeoverføring, og sikrer ensartet temperaturfordeling over skiven, mens SIC -belegget beskytter mot etsende prosessgasser, forhindrer forurensning og forlenger levetiden. I tillegg minimerer SIC-overflaten partikkelfrigjøring, som er avgjørende for å oppnå høye avkastning av halvlederproduksjon.

Satellittplaten er designet spesielt for sømløs integrasjon med AixTron G5+ -systemer, og garanterer presis skiveposisjonering og rotasjonsbalanse, viktig for å opprettholde stabile termiske forhold og redusere defekthastigheter. Den avanserte materialsammensetningen til platen forlenger ikke bare levetiden, men senker også driftskostnadene betydelig og forbedrer produksjonsproduktiviteten.

Satellittplaten er først og fremst brukt i metall organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD), satellittplaten er avgjørende for å vokse epitaksiale lag på halvlederskiver. Det spiller en nøkkelrolle i produksjonen av avanserte halvlederenheter, inkludert LED, SIC og GaN-basert kraftelektronikk, fotoniske og optoelektroniske komponenter og høyfrekvente RF-enheter. Ved å sikre stabile termiske forhold og minimere forurensning, garanterer satellittplaten konsistent epitaksial lagvekst, noe som fører til forbedret håndtering av skive og høyere utbyttehastighet. Den optimaliserte utformingen sikrer støttestøtter effektivt, reduserer defekter og sikrer presisjon gjennom halvlederbehandlingsstadiene.

Semicorex satellittplate fungerer som en essensiell komponent for AixTron G5+ epitaxy -reaktorer, og gir enestående holdbarhet, kjemisk motstand og termisk ytelse. Den banebrytende materialsammensetningen og prosjekteringen gjør det kritisk for halvlederproduksjonsprosessen, og sikrer produksjon av høye avkastninger og høykvalitets skiver. Invester i satellittplaten for å heve halvlederproduksjonen og oppnå dyktighet i epitaksiale vekstprosesser.