SiC-belagt epitaksisk plate

Det er omfattende egenskaper til Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc som gjør den til en uunnværlig komponent i halvlederproduksjon, hvor presisjonen, holdbarheten og robustheten til utstyret er avgjørende for suksessen til høyteknologiske halvlederenheter. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses SiC Coated Epitaxy Disc som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc har en rekke enestående fordeler innen halvlederindustrien, som kan utdypes ytterligere som følger:

Lav termisk ekspansjonskoeffisient: Den SiC-belagte epitakseplaten har en spesielt lav termisk ekspansjonskoeffisient, som er kritisk i halvlederbehandling der dimensjonsstabilitet er avgjørende. Denne egenskapen sikrer at den SiC-belagte epitaksiske skiven gjennomgår minimal ekspansjon eller sammentrekning under temperaturvariasjoner, og opprettholder integriteten til halvlederstrukturen under høytemperaturprosesser.

Høytemperatur-oksidasjonsmotstand: Konstruert med bemerkelsesverdig oksidasjonsmotstand, beholder denne SiC-belagte epitaksiskiven sin strukturelle integritet ved høye temperaturer, noe som gjør den til en ideell komponent for applikasjoner innenfor høytemperatur-halvlederprosesser der termisk stabilitet er avgjørende.

Tett og finporøs overflate: Overflaten på den SiC-belagte epitaksiskiven er preget av dens tetthet og fine porøsitet, som gir en optimal overflatetekstur for å feste ulike belegg og sikrer effektiv fjerning av materiale under halvlederwafer-behandling uten å skade den delikate overflaten.

Høy hardhet: Belegget gir et høyt hardhetsnivå til grafittskiven, som er motstandsdyktig mot riper og slitasje, og forlenger dermed levetiden til SiC Coated Epitaxy Disc og reduserer hyppigheten av utskifting i halvlederproduksjonsmiljøer.

Motstand mot syrer, baser, salter og organiske reagenser: SiC Coated Epitaxy Disc's CVD SiC-belegg gir utmerket motstand mot et bredt spekter av korrosive midler, inkludert syrer, baser, salter og organiske reagenser, noe som gjør den egnet for bruk i miljøer der kjemisk eksponering er en bekymring, og forbedrer dermed påliteligheten og levetiden til utstyret.

Beta-SiC overflatelag: SIC (Silicon Carbide) overflatelaget på SiC Coated Epitaxy Disc består av beta-SiC, som har en ansiktssentrert kubisk (FCC) krystallstruktur. Denne krystallstrukturen bidrar til beleggets eksepsjonelle mekaniske og termiske egenskaper, og tilbyr overlegen styrke og termisk ledningsevne til platen, noe som er essensielt for halvlederbehandlingsutstyr.