SiC-belagt ICP-komponent

Semicorex sin SiC-belagte ICP-komponent er toppvalget for waferhåndteringsprosesser som krever høy temperatur og kjemisk motstand. Våre bærere gir jevne termiske profiler, laminære gassstrømningsmønstre og forhindrer forurensning eller diffusjon av urenheter takket være vår fine SiC-krystall. Med et fint SiC-krystallbelegg gir våre bærere overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet og holdbar kjemisk motstand.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektive produkter til våre kunder. Vår SiC-belagte ICP-komponent har en prisfordel og eksporteres til mange europeiske og amerikanske markeder. Vi tar sikte på å være din langsiktige partner, og levere konsekvente kvalitetsprodukter og eksepsjonell kundeservice.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår SiC-belagte ICP-komponent.

Parametre for SiC-belagt ICP-komponent

Egenskaper til SiC-belagt ICP-komponent

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater

Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C

Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.

Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.

Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret

- Garanterer jevnhet av termisk profil

- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter