Sic belagte skivebærere

Semikorex SIC-belagte skivebærere er avanserte komponenter som støtter skiver for høye temperaturprosesser i halvlederapplikasjoner som epitaksial vekst, diffusjon og CVD. Bærerne gir strukturelle fordeler fra grafitt med høy renhet kombinert med maksimale overflatefordeler ved å bruke en tett og uniformSic beleggFor optimal termisk stabilitet, kjemisk motstand og mekanisk styrke under vanskelige prosesseringsbetingelser.

Grafittkjerne med høy renhet for optimal termisk ledningsevne

SIC-belagte waferbærere er et underlagsmateriale av ultra-fin korn, grafitt med høy renhet. Det er en effektiv termisk leder, og er både lys og maskinbar, den kan fremstilles til komplekse geometrier som kreves av den unike skivestørrelsen og prosessfaktorene. Grafitt tilbyr ensartet oppvarming ved skiveoverflaten som begrenser forekomsten av termiske gradienter og termiske prosesseringsdefekter.

Tett SiC -belegg for overflatebeskyttelse og prosesskompatibilitet

Grafittbæreren er belagt med høy renhet, CVD silisiumkarbid. SIC -belegget gir ugjennomtrengelig, porefri beskyttelse mot korrosjon, oksidasjon og prosessgassforurensning fra arter som hydrogen, klor og silan. Sluttresultatet er et lavt partikulært, tøft bærer som ikke ødelegger eller mister dimensjonsstabilitet, velger å gjenstand for mange termiske sykluser og representerer et betydelig redusert potensial for skiveforurensning.

Fordeler og viktige funksjoner

Termisk motstand: SIC -belegg er stabile for temperaturer som overstiger 1600 ° C, som er optimalisert for høye temperaturens epitaksi og diffusjonsbehov.

Utmerket kjemisk motstandsdyktig: Den tåler alle etsende prosessgasser og rengjøringskjemikalier, og gir lengre levetid og mindre driftsstans.

Lav partikkelgenerering: SIC -overflaten minimerer flassing og partikkel -kaster, og holder rent prosessmiljøet som er viktig for enhetsutbytte.

Dimensjonskontroll: Nettopp konstruert for å lukke toleranser for å sikre ensartet støttestøtte slik at den automatisk kan håndteres med skiver.

Kostnadsreduksjon: Lengre livssykluser og lavere vedlikeholdsbehov gir lavere totale eierkostnader (TCO) enn tradisjonelle grafitt- eller nakne transportører.

Applikasjoner:

SIC-belagte wafer-bærere er mye brukt i produksjon av kraft halvledere, sammensatte halvledere (som GaN, SIC), MEMS, LED og andre enheter som krever høye temperaturbehandling i aggressive kjemiske miljøer. De er spesielt essensielle i epitaksiale reaktorer, der overflatens renslighet, holdbarhet og termisk enhetlighet direkte påvirker skivekvalitet og produksjonseffektivitet.

Tilpasning og kvalitetskontroll

SemikorexSic belagtWafer -transportører produseres under strenge kvalitetskontrollprotokoller. Vi har også fleksibilitet med standardstørrelser og konfigurasjoner, og vi kan tilpassede ingeniørløsninger som oppfyller kundens krav. Enten du har et 4-tommers eller 12-tommers wafer-format, kan vi optimalisere wafer-bærere for horisontale eller vertikale reaktorer, batch- eller enkelt wafer-prosessering og spesifikke epitaxy-oppskrifter.