SiC Disc-mottaker

Med en dyp forpliktelse til kvalitet og innovasjon, setter Semicorex sin ultrarene SiC Disc Susceptor en ny standard for ytelse innen epitaksi, MOCVD og RTP-utstyr. Ved å kombinere eksepsjonell motstand mot termisk støt, overlegen varmeledningsevne, enestående kjemisk motstand og ultrahøy renhet, gir disse konstruerte komponentene halvlederprodusenter mulighet til å oppnå enestående effektivitet, pålitelighet og produktkvalitet. Semicorex sine tilpassbare løsninger sikrer videre at hver termisk prosesseringsapplikasjon drar nytte av optimaliserte, presisjonskonstruerte komponenter designet for å møte deres unike krav.

Enestående termisk støtmotstand:SiC Disc Susceptor utmerker seg ved å tåle raske temperatursvingninger, som er vanlige i RTP og andre høytemperaturprosesser. Denne eksepsjonelle termiske støtmotstanden sikrer strukturell integritet og lang levetid, minimerer risikoen for skade eller feil på grunn av plutselige temperaturendringer og forbedrer påliteligheten til det termiske prosesseringsutstyret.

Overlegen termisk ledningsevne:Effektiv varmeoverføring er kritisk i termiske prosesseringsapplikasjoner. Den utmerkede termiske ledningsevnen til SiC Disc Susceptor sikrer rask og jevn oppvarming og avkjøling, avgjørende for presis temperaturkontroll og prosessuniformitet. Dette fører til forbedret prosesseffektivitet, reduserte syklustider og halvlederskiver av høyere kvalitet.

Eksepsjonell kjemisk motstand:SiC Disc Susceptor gir enestående motstand mot et bredt spekter av korrosive og reaktive kjemikalier som brukes i epitaksi-, MOCVD- og RTP-prosesser. Denne kjemiske inertheten beskytter den underliggende grafitten mot nedbrytning, forhindrer forurensning av prosessmiljøet og sikrer konsistent ytelse over lengre driftsperioder.

Ultra høy renhet: SiC Disc Susceptor er produsert i henhold til standarder for ultrahøy renhet både for grafitt- og SiC-belegg, og unngår potensialet for forurensning og sikrer produksjon av defektfrie halvlederenheter. Denne forpliktelsen til renhet betyr høyere utbytte og forbedret enhetsytelse.

Tilgjengelighet av komplekse former:De avanserte produksjonsmulighetene hos Semicorex tillater produksjon av SiC Disc Susceptor i komplekse former skreddersydd til spesifikke kundekrav. Denne fleksibiliteten muliggjør utforming av tilpassede løsninger som oppfyller de nøyaktige behovene til ulike termiske prosesseringsapplikasjoner, og forbedrer prosesseffektiviteten og utstyrskompatibiliteten.

Brukbar i oksiderende atmosfærer:Det robuste CVD SiC-belegget gir utmerket beskyttelse mot oksidasjon, slik at SiC Disc Susceptor kan yte pålitelig i oksiderende miljøer. Dette utvider deres anvendelighet til et bredere spekter av termiske prosesser, noe som sikrer allsidighet og tilpasningsevne.

Solid, repeterbar ytelse:SiC Disc Susceptor er designet for høye temperaturer og vakuummiljøer, og tilbyr robust og repeterbar ytelse. Dens holdbarhet og konsistens gjør dem ideelle for kritiske termiske behandlingsapplikasjoner, reduserer nedetid, vedlikeholdskostnader og sikrer langsiktig driftssikkerhet.

Semicorex spesialiserer seg på å tilpasse CVD SiC-belagte komponenter for å møte de ulike behovene til termisk prosessutstyr, inkludert:

Diffusorer:Forbedre jevnheten av gassfordelingen og prosesskonsistensen.

Isolatorer:Gi termisk isolasjon og beskyttelse i miljøer med høy temperatur.

Andre tilpassede termiske komponenter:Skreddersydde løsninger designet for å møte spesifikke prosesskrav og optimalisere utstyrsytelsen.