SIC epitaxial modul

Semicorex SIC epitaxial modul, laget av premium karakter, SIC -belagt grafitt, er en del av epitaksialt utstyr som er utviklet for å motstå de vanskeligste elementene i silisiumkarbid (SIC) epitaksiprosesser. Denne modulen, ment for høy temperatur i applikasjoner for kjemisk dampavsetning (CVD), er en viktig komponent for å demonstrere stabilitet og støtte for skiver under den epitaksiale veksten av SIC av høy kvalitet. Semicorex SIC -modulen er et effektivt basismateriale for en pålitelig og repeterbar produksjon av epitaksialt materiale som stemmer overens med SIC -spesifikasjoner av høy kvalitet.

Semicorex SIC -modulen er et grafittsubstrat dekket med et tett og ensartet lag med silisiumkarbidplatting og er resistent mot partikkelforurensning og korrosjon selv i de mest alvorlige prosesskjemikaliene. SIC -belegget forbyr forurensning og erosjon av den underliggende grafitten og gir betydelig mekanisk støtte og beskyttelse opp til 1600 ° C. SIC -modulen kombinerer styrken og maskinbarheten til grafitt med generell slitasje, korrosjon og kjemisk resistente egenskaper til silisiumkarbid, noe som gjør den best egnet av modulen når det gjelder holdbarhet i en hard epitaksial atmosfære.

Modulen er designet for å gi en enhetlig termisk profil mens den minimerer dimensjonsendring gjennom hele den termiske sykkelprosessen. Denne termiske ensartetheten og stabiliteten er avgjørende for å opprettholde skiven flathet og epitaksi -enhetlighet. Hvis skiven opprettholder en stabil stilling med høy termisk ledningsevne, vil de termiske forholdene over skiven under prosessering være ensartet, noe som påvirker utbytte, krystallkvalitet og driftsstans relatert til delvisvikt eller forurensning positivt.

SIC-epitaksialmodulen er kompatibel med flere epitaksiale reaktorer inkludert varmvegg og kaldvegg og har muligheten til å tilpasses for å forme og dimensjoner for å imøtekomme spesifikke reaktoroppsett og kundebehov. SIC-epitaksialmodulen er godt egnet for, men ikke begrenset til, 4-tommers, 6-tommers og nye 8-tommers SIC Epitaxy-applikasjoner. På grunn av den høye renheten og optimaliserte geometrien til SIC -epitaksialmodulen, minimeres fysisk interferens i sin innvirkning på gasstrømdynamikk og termiske gradienter som støtter mer kontrollert vekst av det epitaksiale laget.

Semicorexs SIC -epitaksiale moduler representerer det kontrollerte stykket av høyeste kvalitet i den eksentriske forsamlingen. I tillegg til kontrollprotokoller av høy kvalitet, bruker Semicorex de nyeste beleggmetodene for å anvende uniform, tette og lav-outgassing SIC-filmer. Semicorex har en lang historie med keramiske belegg med høy ytelse og grafittbearbeiding som identifiserer prosessfordeler som gir best mulig produktliv, konsistens og prosessstabilitet fra batch til batch.

I det raskt utviklende feltet av SIC-strømenheter, der materialkvalitet direkte påvirker enhetens ytelse, er den epitaksiale modulen ikke bare en forbruksvarer-det er en kritisk enabler. Den SIC-belagte grafittpitaksiale modulen fra Semicorex tilbyr en robust, pålitelig løsning for kunder som søker å skyve grensene for effektivitet, utbytte og kostnadseffektivitet i SIC-epitaksi.