Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
SiC Ceramic Seal Ring er kjent for sin robuste ytelse og holdbarhet. Semicorex tilbyr høykvalitets SiC keramiske tetningsringer som oppfyller de strenge kravene til moderne industri. Disse ringene har blitt uunnværlige for å forbedre effektiviteten og påliteligheten til mekaniske tetninger.**
Les merSend forespørselSemicorex SiC Furnace Tube er en uunnværlig ressurs for halvlederprodusenter som har som mål å forbedre deres diffusjonsprosesser. Med sine enestående materialegenskaper, presisjonsdesign og brukervennlighet, er vårt SiC-ovnsrør den ideelle løsningen for å forbedre utbytte og produktkvalitet. Stol på Semicorex for å tilby de banebrytende løsningene du trenger for å utmerke deg i det fartsfylte halvlederlandskapet.*
Les merSend forespørselSiC Plate fra Semicorex er et uunnværlig verktøy for enhver produsent i LED-industrien som ønsker å optimere sine ICP-etseprosesser. Med sine eksepsjonelle materialegenskaper, presisjonsteknikk og enkle integrering, er vår SiC Plate det ideelle valget for å forbedre effektiviteten og produktkvaliteten. Stol på Semicorex for å levere løsningene du trenger for å holde deg i forkant av halvlederindustrien.*
Les merSend forespørselAlN Heater fra Semicorex er designet for å støtte og varme silisiumskiver. Denne varmeren er laget av høyrent aluminiumnitrid (AlN), og tilbyr en rekke avanserte funksjoner som imøtekommer behovene til ulike høypresisjonsapplikasjoner, spesielt i halvlederindustrien.**
Les merSend forespørselSemicorexs AIN-substrat utmerker seg i overlegen termisk styring og elektrisk isolasjon, og gir en robust løsning laget av høyrent AlN-keramikk. Dette hvite keramiske materialet er hyllet for sine omfattende egenskaper.**
Les merSend forespørselSemicorex presenterer stolt Al2O3 Substrate, et allsidig og høyytelsesmateriale laget av høyrent aluminiumoksid (aluminiumoksyd). Dette avanserte keramiske substratet er hyllet for sine eksepsjonelle egenskaper, noe som gjør det til en hjørnestein i ulike høyteknologiske industrier, inkludert elektronikk, optoelektronikk og fastoksid brenselceller.**
Les merSend forespørsel