Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer silisiumkarbidbelagt fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex SiC Fine Powder er et høykvalitets, ultrafint pulver kjent for sin eksepsjonelle renhet og kontrollerte partikkelstørrelsesfordeling. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselKonstruert av silisiumkarbid av eksepsjonell renhet, viser Semicorex High-Purity SiC-båten overlegen termisk stabilitet, mekanisk robusthet og motstand mot kjemikalier. Dette materialvalget er avgjørende for å redusere potensiell forurensning, beskytte skivene mot skade og tåle de strenge forholdene som oppstår ved halvlederproduksjon. Semicorex sin forpliktelse til å produsere og levere markedsledende kvalitetsprodukter, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.
Les merSend forespørselLaget av et silisiumkarbid av eksepsjonell renhet, Semicorex SiC Boat for Wafer Handling har en konstruksjon som inkluderer presisjonsspor for å sikre wafere, og dempe enhver bevegelse under operasjonelle prosedyrer. Valget av silisiumkarbid som materiale sikrer ikke bare hardhet og spenst, men også evnen til å tåle høye temperaturer og eksponering for kjemikalier. Dette gjør SiC Boat for Wafer Handling til en sentral komponent i en rekke halvlederproduksjonsstadier, slik som dyrking av krystaller, diffusjon, ioneimplantasjon og etseprosesser.
Les merSend forespørselSemicorex PBN/PG-varmere (Pyrolytisk Boron Nitride/Pyrolytic Graphite) er konstruert av avanserte Boron Nitride keramiske materialer, omhyggelig laget for å tåle ekstreme temperaturer over 1700°C. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex PBN Heater Chucks, laget av Boron Nitride keramikk, står i forkant av banebrytende termiske styringsløsninger. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex Pyrolytic Boron Nitride Heaters representerer toppen av ytelse og pålitelighet i riket av høytemperaturapplikasjoner. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel