Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer silisiumkarbidbelagt fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex ICP Etching Plate er en avansert komponent med høy ytelse spesielt utviklet for halvlederapplikasjoner, laget av silisiumkarbidmateriale (SiC). Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex SiC-reflektor er et sentralt element i ulike produksjonsprosesser for halvledere. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørselSemicorex SiC keramiske varmeoverføringsplater, basert på SiC som primærmateriale, gjennomgår høytemperatursintring ved 2250°C, noe som resulterer i en svært forglasset, tett keramisk kropp med null porøsitet med et SiC-innhold på ≥99,3 %. Med en bøyestyrke på ≥410MPa og en termisk ledningsevne på 140W/m.k, er disse keramikkene de eneste materialene som er i stand til å motstå korrosjon fra sterke syrer som flussyre (HF) og svovelsyre (H2SO4) i halvlederindustrien. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses SiC keramiske varmeoverføringsplater som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet. **
Les merSend forespørselSemicorex silisiumkarbid keramiske strukturdeler, oppnådd fra korn av silisiumkarbid bundet sammen ved sintring, finner utstrakt bruk i bilindustrien, mekanisk, kjemisk, halvleder, romteknologi, mikroelektronikk og energisektorer, og fyller kritiske roller i ulike applikasjoner på tvers av disse industrien. På grunn av deres bemerkelsesverdige egenskaper har silisiumkarbidkeramiske strukturdeler blitt et ideelt materiale for tøffe forhold preget av høye temperaturer, høyt trykk, korrosjon og slitasje, og gir pålitelig ytelse og lang levetid i utfordrende driftsmiljøer.**
Les merSend forespørselAlumina keramiske flenser er konstruerte komponenter som gir betydelige fordeler, spesielt i omgivelser der termisk stabilitet, vekthensyn og korrosjonsmotstand er av største betydning. Disse flensene er ikke bare holdbare og pålitelige, men bidrar også til den generelle effektiviteten og kostnadseffektiviteten til systemene de brukes i. Deres unike egenskaper gjør dem til et utmerket valg for avanserte tekniske løsninger i ulike industrisektorer. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses keramiske aluminiumoksydflenser som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselSemicorex Alumina Vacuum Chuck er en presisjonsholdeenhet designet for avansert produksjon og forskningsapplikasjoner. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina*.
Les merSend forespørsel