Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i prosessering av krystallvekst og waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex Silicon Carbide Boat er en høyytelseskomponent designet for bruk i halvlederdiffusjonsprosesser, og tilbyr eksepsjonell termisk stabilitet, slitestyrke og kjemisk holdbarhet. Velg Semicorex for sine avanserte produksjonsevner, og leverer pålitelige produkter av høy kvalitet som sikrer optimal ytelse i krevende halvleder- og industrielle applikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex prioriterer kvalitet og ytelse, og sikrer at hver SiC-pakning oppfyller strenge industristandarder. Våre banebrytende produksjonsprosesser garanterer at produktene våre leverer konsistente og pålitelige resultater, og posisjonerer Semicorex som en leder innen avansert keramikk.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Grinding Media er laget av silisiumkarbidkeramikk, et materiale som er kjent for sin eksepsjonelle hardhet og holdbarhet. Konstruert for å møte de strenge kravene til ulike industrielle applikasjoner, tilbyr SiC Grinding Media uovertruffen effektivitet og lang levetid.
Les merSend forespørselSemicorex 6 Inch SiC Boat er en høyytelses wafer-bærer laget av silisiumkarbid, designet for bruk i høytemperatur-halvlederprosesser som oksidasjon og diffusjon. Semicorex tilbyr produkter av overlegen kvalitet med eksepsjonell termisk stabilitet, utmerket kjemisk motstand og en forpliktelse til pålitelig, langvarig ytelse i krevende halvlederapplikasjoner.*
Les merSend forespørselSemicorex Vertical Silicon Boat er en kritisk komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, Semicorex leverer tilpasset vertikal silisiumbåt med uovertruffen kvalitet og presisjon, skreddersydd for å møte de strenge kravene til halvlederindustrien.*
Les merSend forespørselSi3N4 tetningsringen fra Semicorex representerer et betydelig fremskritt innen keramisk konstruksjon, laget av Si3N4, et eksepsjonelt uorganisk materiale. Denne keramikken er kjent for sin unike egenskap ved å ikke krympe under sintringsprosessen, noe som sikrer dimensjonsstabilitet og konsistens.
Les merSend forespørsel