Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer silisiumkarbidbelagt fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex aluminiumnitridisolatorringer er uunnværlige komponenter i avansert halvlederproduksjon, spesielt i høyfrekvente varmebehandlingsprosesser. Deres unike kombinasjon av høytemperaturstabilitet, overlegne tetningsegenskaper, eksepsjonell termisk ledningsevne og iboende holdbarhet gjør dem avgjørende for å sikre presis prosesskontroll, høye enhetsutbytte og utvidet utstyrslevetid i det krevende miljøet for halvlederproduksjon. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses aluminiumnitridisolatorringer som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselSemicorex aluminiumnitrid elektrostatiske chucker tilbyr en overbevisende kombinasjon av egenskaper som gjør dem ideelt egnet for de krevende kravene til prosessering av halvlederskiver. Deres evne til å gi sikker og ensartet waferklemming, utmerket termisk styring og motstand mot tøffe prosessmiljøer oversetter til forbedret enhetsytelse, høyere utbytte og reduserte produksjonskostnader. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses aluminiumnitrid elektrostatiske chucker som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselSemicorex SiC Wafer Inspection Chucks er kritiske muliggjører for avansert halvlederproduksjon, og imøtekommer de økende kravene til presisjon, renslighet og gjennomstrømning. Deres overlegne materialegenskaper gir konkrete fordeler gjennom hele wafer-fremstillingsprosessen, og bidrar til slutt til høyere utbytte, forbedret enhetsytelse og lavere totale produksjonskostnader. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses SiC Wafer Inspection Chucks som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, også kjent som wafer håndtering keramisk robotarm eller keramisk silisium wafer håndteringsgaffel, er en høyytelses halvlederutstyrskomponent. Designet tar hensyn til de strenge kravene til halvlederproduksjon. Med sin høye temperaturbestandighet, slitestyrke, kjemiske stabilitet og utmerkede elektriske isolasjonsegenskaper, spiller den keramiske alumina-armen en uerstattelig rolle i den globale halvlederproduksjonsindustrien. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses aluminiumoksyd keramisk robotarm som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselDe avanserte materialegenskapene til Semicorex SiC diffusjonsovnsrør, inkludert høy bøyestyrke, enestående oksidasjons- og korrosjonsmotstand, høy slitestyrke, lav friksjonskoeffisient, overlegne høytemperatur mekaniske egenskaper og ultrahøy renhet, gjør det uunnværlig i halvlederindustrien , spesielt for diffusjonsovnsapplikasjoner. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses SiC Diffusion Furnace Tube som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørselMed høykvalitets materialegenskaper representerer Semicorex SiC Diffusion Boat optimal funksjonalitet på tvers av et bredt spekter av operasjonsparametere: hardhet, elastisitet og termisk og kjemisk motstand, etc. Dette materialvalget er avgjørende for å redusere forurensningsrisiko, beskytte wafere og tåle krevende forhold tilstede i halvlederproduksjonsprosesser. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses SiC diffusjonsbåt som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Les merSend forespørsel