Silisiumkarbid keramiske waferbåter

Premium materialvalg

De utmerkede egenskapene til Semicorex silisiumkarbidkeramikkoblatbåterkan tilskrives råvarer av høy kvalitet. Laget av SiSiC-materiale av halvlederkvalitet og dekket med et CVD SiC-belegg, viser silisiumkarbidkeramiske waferbåter følgende utmerkede egenskaper.

1. Ultrahøy renhet, fri for metallurenheter

Substratforurensning: ＜100 ppm

CVD SiC belegg urenhet: ＜1 ppm

2. Overlegen termisk stabilitet

Båter med keramisk silisiumkarbid er i stand til å yte jevnt under 1250 ℃ høye temperaturforhold, og gir minimal deformasjon og krypemotstand.

3.Høy mekanisk styrke

Silisiumkarbidhar høy hardhet og slitestyrke, noe som gjør at Semicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter kan motstå riper, slitasje og skader, og dermed yte godt under langvarig drift og være motstandsdyktige mot skader.

4. Eksepsjonell korrosjonsbestandighet

Fordi silisiumkarbid er motstandsdyktig mot korrosjon fra sterke syrer og alkalier, kan  Semicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter opprettholde sin strukturelle integritet og funksjonelle ytelse selv under svært korrosive arbeidsforhold.

Optimalisert strukturell design

Semicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter er designet for batch wafer-behandling, deres optimaliserte strukturelle rammeverk sikrer stabil batch wafer-støtte og konsistent prosessstabilitet for hver wafer.

1,3-stolper vertikal støttestruktur

Den vertikale strukturen til Semicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter gjør dem i stand til sømløst å matche vertikale ovnsapplikasjoner. Med denne strukturen kan emicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter lette homogen sirkulasjon av prosessgasser og jevn fordeling av termisk energi i høytemperaturovnen.

2. Jevnt fordelte sporklemmer

Semicorex keramiske waferbåter av silisiumkarbid er utstyrt med flere presisjonsmaskinerte spalteklemmer på støttestolpene. Deres jevnt fordelte spalteklemmer oppnår passende spalteavstand, noe som gjør det mulig for båter av silisiumkarbidkeramikk å feste halvlederskiver, og dermed bidra til å forbedre konsistensen av termiske prosesseringsresultater for wafer.

Med så mange utmerkede ytelser og funksjoner, er Semicorex silisiumkarbid keramiske waferbåter mye brukt i kjerneprosesser for produksjon av halvlederwafer, som oksidasjon, diffusjon, ioneimplantasjon og høytemperaturglødning.