Silisiumkarbidkassettbåter

Semicorexsilisiumkarbidkassettbåterer de uunnværlige bærekomponentene, med sin stabile og høystyrke struktur, som trygt og presist holder, overfører og håndterer flere halvlederskiver. De er mye brukt i de forskjellige høytemperatur-halvlederprosessene for å sikre optimalisert varme- og gassstrømfordeling for konsistente behandlingsresultater.

Nøye utvalgt råstoff

Semicorex silisiumkarbidkassettbåter er nøyaktig fremstilt av silisiumkarbidpulver av halvlederkvalitet gjennom høytemperatursintring, og har følgende utmerkede egenskaper.

1. Ultrahøy renhet:Urenhetsinnholdet i substratet kontrolleres til å være under 100 PPM, og urenhetsnivået påCVD silisiumkarbidbelegg kan nå mindre enn 1 PPM.

2. Pålitelig korrosjonsbestandighet:Silisiumkarbidkeramikk gir sterk korrosjonsbestandighet, og den er motstandsdyktig mot korrosjon fra de fleste syrer (som saltsyre, svovelsyre og flussyre), alkalier (som kaustisk soda), løsemidler og oksiderende medier.

3. Eksepsjonell termisk styringskapasitet:Med eksepsjonell termisk motstand og lav termisk ekspansjonskoeffisient kan silisiumkarbidkassettbåter opprettholde sine kjemiske egenskaper og mekaniske styrke selv når de utsettes for langvarige driftsforhold ved høy temperatur rundt 1250 °C.

Presisjonskonstruert struktur

1. Horisontal rammestruktur:Den horisontale rammestrukturen til Semicorex silisiumkarbidkassettbåter gjør at de passer perfekt til horisontale høytemperaturovnsrør.

2. Jevnt fordelte sporhakk:Semicorex silisiumkarbidkassettbåter har mange jevnt fordelte spor, og kan holde waferen på plass, noe som i betydelig grad kan forhindre uønskede riper, slitasjer og skader som følge av waferforskyvning, og dermed effektivt sikre halvlederprosessstabilitet og waferutbytte.

3. Multi-spor design:Flere spor designet for å bære flere wafere gjør at Semicorex silisiumkarbidkassettbåter kan forbedre sin enkelt-batch prosessering og den totale produksjonseffektiviteten.

4. Åpen arkitektur:Semicorex silisiumkarbidkassettbåter er utstyrt med den gjennomtenkte åpne arkitekturen, som kan bidra til å oppnå jevn gassfordeling og tilstrekkelig reaksjonskontakt, som derved effektivt minimerer inkonsistente prosessresultater.