Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelagt

Kina Silisiumkarbidbelagt produsenter, leverandører, fabrikk

SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.

Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.


SiC-belegg har flere unike fordeler

Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.

Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.

Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.

Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.

Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.


SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner

LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.



Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.



Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.





SiC-belagte grafittkomponenter

Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .

Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.


Materialdata for Semicorex SiC Coating

Typiske egenskaper

Enheter

Verdier

Struktur


FCC β-fase

Orientering

Brøk (%)

111 foretrukket

Bulk tetthet

g/cm³

3.21

Hardhet

Vickers hardhet

2500

Varmekapasitet

J kg-1 K-1

640

Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Youngs modul

Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)

430

Kornstørrelse

μm

2~10

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.






View as  
 
SiC grafitt RTP bæreplate for MOCVD

SiC grafitt RTP bæreplate for MOCVD

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate for MOCVD tilbyr overlegen varmebestandighet og termisk ensartethet, noe som gjør den til den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med en SiC-belagt grafitt av høy kvalitet, er dette produktet konstruert for å tåle de tøffeste avsetningsmiljøene for epitaksial vekst. Den høye varmeledningsevnen og utmerkede varmefordelingsegenskapene sikrer pålitelig ytelse for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt RTP-bærerplate for epitaksial vekst

SiC-belagt RTP-bærerplate for epitaksial vekst

Semicorex SiC-belagt RTP-bærerplate for epitaksial vekst er den perfekte løsningen for behandling av halvlederskiver. Med sine høykvalitets karbongrafitt-susceptorer og kvartsdigler behandlet av MOCVD på overflaten av grafitt, keramikk, etc., er dette produktet ideelt for waferhåndtering og epitaksial vekstbehandling. Den SiC-belagte bæreren sikrer høy varmeledningsevne og utmerkede varmefordelingsegenskaper, noe som gjør den til et pålitelig valg for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.

Les merSend forespørsel
RTP RTA SiC Coated Carrier

RTP RTA SiC Coated Carrier

Semicorex er en storskala produsent og leverandør av silisiumkarbidbelagt grafittsusceptor i Kina. Semicorex grafittsusceptor utviklet spesielt for epitaksiutstyr med høy varme- og korrosjonsbestandighet i Kina. Vår RTP RTA SiC Coated Carrier har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner.

Les merSend forespørsel
RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst

RTP-bærer for MOCVD epitaksial vekst

Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth er ideell for prosessering av halvlederwafere, inkludert epitaksial vekst og prosessering av waferhåndtering. Karbongrafittsusceptorer og kvartsdigler behandles av MOCVD på overflaten av grafitt, keramikk osv. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt ICP-komponent

SiC-belagt ICP-komponent

Semicorex sin SiC-belagte ICP-komponent er designet spesielt for høytemperatur-waferhåndteringsprosesser som epitaksi og MOCVD. Med et fint SiC-krystallbelegg gir våre bærere overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet og holdbar kjemisk motstand.

Les merSend forespørsel
Høytemperatur SiC-belegg for plasmaetsingskamre

Høytemperatur SiC-belegg for plasmaetsingskamre

Når det kommer til waferhåndteringsprosesser som epitaksi og MOCVD, er Semicorex sin High-Temperature SiC Coating for Plasma Etch Chambers det beste valget. Våre bærere gir overlegen varmebestandighet, jevn termisk jevnhet og holdbar kjemisk motstand takket være vårt fine SiC-krystallbelegg.

Les merSend forespørsel
Semicorex har produsert Silisiumkarbidbelagt i mange år og er en av de profesjonelle Silisiumkarbidbelagt-produsentene og leverandørene i Kina. Når du kjøper våre avanserte og holdbare produkter som leverer bulkpakking, garanterer vi det store antallet i rask levering. Gjennom årene har vi gitt kundene tilpasset service. Kundene er fornøyde med våre produkter og utmerket service. Vi ser oppriktig frem til å bli din pålitelige langsiktige forretningspartner! Velkommen til å kjøpe produkter fra vår fabrikk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept