SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Semicorex sine susceptorer for MOCVD-reaktorer er høykvalitetsprodukter som brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner som silisiumkarbidlag og epitaksi-halvleder. Produktet vårt er tilgjengelig i gir- eller ringform og er designet for å oppnå høytemperaturoksidasjonsmotstand, noe som gjør det stabilt ved temperaturer opp til 1600°C.
Les merSend forespørselDu kan være trygg på å kjøpe Silicon Epitaxy Susceptors fra vår fabrikk. Semicorex sin Silicon Epitaxy Susceptor er et høykvalitets produkt med høy renhet som brukes i halvlederindustrien for epitaksial vekst av wafer-brikken. Produktet vårt har en overlegen beleggteknologi som sikrer at belegget er tilstede på alle overflater, og forhindrer avskalling. Produktet er stabilt ved høye temperaturer opp til 1600°C, noe som gjør det egnet for bruk i ekstreme miljøer.
Les merSend forespørselSemicorex er en ledende produsent og leverandør av SiC Susceptor for MOCVD. Produktet vårt er spesielt designet for å imøtekomme behovene til halvlederindustrien når det gjelder å dyrke det epitaksiale laget på waferbrikken. Produktet brukes som senterplate i MOCVD, med tannhjul eller ringformet design. Den har høy varme- og korrosjonsbestandighet, noe som gjør den ideell for bruk i ekstreme miljøer.
Les merSend forespørselSemicorex er en pålitelig leverandør og produsent av silisiumkarbidbelegg grafitt susceptor for MOCVD. Produktet vårt er spesielt designet for å imøtekomme behovene til halvlederindustrien når det gjelder å dyrke det epitaksiale laget på waferbrikken. Produktet brukes som senterplate i MOCVD, med tannhjul eller ringformet design. Den har høy varme- og korrosjonsbestandighet, noe som gjør den ideell for bruk i ekstreme miljøer.
Les merSend forespørselSemicorex er en anerkjent leverandør og produsent av SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform. Produktet vårt er spesielt designet for å imøtekomme behovene til halvlederindustrien når det gjelder å dyrke det epitaksiale laget på waferbrikken. Produktet brukes som senterplate i MOCVD, med tannhjul eller ringformet design. Den har høy varme- og korrosjonsbestandighet, noe som gjør den ideell for bruk i ekstreme miljøer.
Les merSend forespørselSemicorex er en kjent produsent og leverandør av høykvalitets MOCVD Cover Star Disc Plate for Wafer Epitaxy. Produktet vårt er spesialdesignet for å imøtekomme behovene til halvlederindustrien, spesielt når det gjelder å dyrke det epitaksiale laget på wafer-brikken. Vår susceptor brukes som senterplate i MOCVD, med et tannhjul eller ringformet design. Produktet er svært motstandsdyktig mot høy varme og korrosjon, noe som gjør det ideelt for bruk i ekstreme miljøer.
Les merSend forespørsel