SiC-belegg er et tynt lag på susceptoren gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD). Silisiumkarbidmateriale gir en rekke fordeler fremfor silisium, inkludert 10x nedbrytningsstyrken for elektrisk felt, 3x båndgapet, som gir materialet høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex tilbyr tilpasset service, hjelper deg med innovasjon med komponenter som varer lenger, reduserer syklustider og forbedrer utbyttet.
SiC-belegg har flere unike fordeler
Høytemperaturmotstand: CVD SiC-belagt susceptor kan tåle høye temperaturer opp til 1600°C uten å gjennomgå betydelig termisk nedbrytning.
Kjemisk motstand: Silisiumkarbidbelegget gir utmerket motstand mot et bredt spekter av kjemikalier, inkludert syrer, alkalier og organiske løsemidler.
Slitestyrke: SiC-belegget gir materialet utmerket slitestyrke, noe som gjør det egnet for bruksområder som involverer høy slitasje.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belegget gir materialet høy varmeledningsevne, noe som gjør det egnet for bruk i høytemperaturapplikasjoner som krever effektiv varmeoverføring.
Høy styrke og stivhet: Den silisiumkarbidbelagte susceptoren gir materialet høy styrke og stivhet, noe som gjør det egnet for applikasjoner som krever høy mekanisk styrke.
SiC-belegg brukes i ulike applikasjoner
LED-produksjon: CVD SiC-belagt susceptor brukes i produksjon bearbeidet av ulike LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED, på grunn av sin høye varmeledningsevne og kjemiske motstand.
Mobilkommunikasjon: CVD SiC-belagt susceptor er en avgjørende del av HEMT for å fullføre GaN-on-SiC epitaksial prosessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor brukes i halvlederindustrien for ulike applikasjoner, inkludert wafer-behandling og epitaksial vekst.
SiC-belagte grafittkomponenter
Laget av Silicon Carbide Coating (SiC) grafitt, påføres belegget ved en CVD-metode på spesifikke kvaliteter av høydensitetsgrafitt, slik at det kan operere i høytemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets spesielle egenskaper og lave masse tillater raske oppvarmingshastigheter, jevn temperaturfordeling og enestående presisjon i kontroll.
Materialdata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaper |
Enheter |
Verdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrukket |
Bulk tetthet |
g/cm³ |
3.21 |
Hardhet |
Vickers hardhet |
2500 |
Varmekapasitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk ekspansjon 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøy, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusjon CVD SiC-belagt susceptor er et komposittmateriale som kombinerer egenskapene til en susceptor og silisiumkarbid. Dette materialet har unike egenskaper, inkludert høy temperatur og kjemisk motstand, utmerket slitestyrke, høy varmeledningsevne og høy styrke og stivhet. Disse egenskapene gjør det til et attraktivt materiale for ulike høytemperaturapplikasjoner, inkludert halvlederbehandling, kjemisk prosessering, varmebehandling, solcelleproduksjon og LED-produksjon.
Perfekt for grafittepitaksi og waferhåndteringsprosesser, Semicorex ultra-ren Monokrystallinsk Silicon Epitaxial Susceptor sikrer minimal forurensning og gir eksepsjonelt lang levetid. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselDu kan være trygg på å kjøpe Semiconductor Wafer Carrier for MOCVD-utstyr fra fabrikken vår. Halvlederwaferbærere er en viktig komponent i MOCVD-utstyr. De brukes til å transportere og beskytte halvlederskiver under produksjonsprosessen. Semiconductor Wafer Carriers for MOCVD-utstyr er laget av materialer med høy renhet og er designet for å opprettholde integriteten til wafere under prosessering.
Les merSend forespørselSemicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor er det ultimate valget for halvlederprodusenter som leter etter en høykvalitets bærer som kan levere overlegen ytelse og holdbarhet. Det avanserte materialet sikrer jevn termisk profil og laminært gassstrømningsmønster, og leverer høykvalitets wafere.
Les merSend forespørselSemicorex MOCVD Wafer Carriers for Semiconductor Industry er en top-of-the-line bærer designet for bruk i halvlederindustrien. Materialet med høy renhet sikrer jevn termisk profil og laminært gassstrømningsmønster, og gir høykvalitets wafere.
Les merSend forespørselSemicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD er en høykvalitets bærer designet for bruk i halvlederproduksjonsprosessen. Dens høye renhet, utmerkede korrosjonsbestandighet og jevne termiske profil gjør den til et utmerket valg for de som leter etter en bærer som tåler kravene til halvlederproduksjonsprosessen.
Les merSend forespørselSemicorex er et pålitelig navn i halvlederindustrien, og tilbyr høykvalitets MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor. Produktet vårt er designet for å møte de spesifikke behovene til halvlederprodusenter som leter etter en bærer som kan levere utmerket ytelse, stabilitet og holdbarhet. Kontakt oss i dag for å lære mer om produktet vårt og hvordan vi kan hjelpe deg med dine behov for halvlederproduksjon.
Les merSend forespørsel