Enkrystall Silicon Epi Susceptor

Single-crystal Silicon Epi Susceptor er en essensiell komponent designet for Si-GaN epitaksi-prosesser, som kan skreddersys til individualiserte spesifikasjoner og preferanser, og gir en skreddersydd løsning som passer perfekt med spesifikke krav. Enten det innebærer modifikasjoner i dimensjoner eller justeringer i beleggtykkelse, har vi evnen til å designe og levere et produkt som imøtekommer ulike prosessparametere, og dermed optimalisere ytelsen for målrettede applikasjoner. Semicorex sin forpliktelse til markedsledende kvalitet, alliert med konkurransedyktige skattemessige hensyn, befester vår iver etter å etablere partnerskap for å oppfylle dine krav til transport av halvlederwafer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Susceptorene i epitaksial vekstprosessering nødvendiggjør evnen til å tåle høye temperaturer og tåle strenge kjemiske renseprosedyrer. Single-crystal Silicon Epi Susceptor har blitt omhyggelig konstruert for å imøtekomme spesifikt disse krevende kravene som stilles i epitaksiutstyrsapplikasjoner.

Disse susceptorene har en konstruksjon som består av høyrent silisiumkarbid (SiC) belagt grafitt, som gir uovertruffen motstand mot varme, og sikrer jevn termisk fordeling for konsistent epitaksisk lagtykkelse og motstand.

I tillegg viser Single-crystal Silicon Epi Susceptor bemerkelsesverdig holdbarhet mot sterke kjemiske rengjøringsmidler. Bruken av fint SiC-krystallbelegg bidrar videre til en uberørt, glatt overflate, noe som er av største betydning for effektiv håndtering, ettersom de ubesudlede skivene kommer i kontakt med susceptoren over en rekke punkter gjennom hele overflaten.

Bruken av Single-crystal Silicon Epi Susceptor sikrer urokkelig pålitelighet og forlenget levetid, reduserer behovet for hyppige utskiftninger og minimerer deretter både nedetid og vedlikeholdskostnader. Dens robuste konstruksjon og eksepsjonelle operasjonelle evner bidrar betydelig til økt prosesseffektivitet, og styrker til slutt produktivitet og kostnadseffektivitet innenfor halvlederproduksjonsoperasjoner.