Grafittsusceptor med SiC-belegg

Semicorex Graphite Susceptor med SiC-belegg er en essensiell komponent designet for silisiumepitaksiprosesser i Applied Materials og LPE (Liquid Phase Epitaxy)-enheter. Denne susceptoren er laget av høykvalitets grafittmateriale belagt med silisiumkarbid (SiC), og sikrer overlegen ytelse og lang levetid i halvlederproduksjonsmiljøer. Semicorex er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

SiC-belegget på grafittsusceptoren med SiC-belegg tjener flere formål. For det første gir det forbedret termisk stabilitet, noe som muliggjør presis kontroll over temperaturgradienter under epitaksiale vekstprosesser. Denne stabiliteten er avgjørende for å oppnå ensartede og høykvalitets silisiumlag i halvlederskiver. SiC-belegget på Graphite Susceptor med SiC Coating gir utmerket motstand mot kjemisk korrosjon og termisk sjokk, og sikrer integriteten til susceptoren selv under krevende prosessforhold. Denne holdbarheten betyr forlenget driftslevetid og redusert nedetid, og bidrar til slutt til høyere produktivitet og kostnadseffektivitet for anlegg for halvlederfabrikasjon.

Tønnedesignet til grafittsusceptoren med SiC-belegg letter effektiv lasting og lossing av wafere, og optimerer gjennomstrømningen i epitaksiprosesser. I tillegg er Graphite Susceptor med SiC Coating et tilpasset produkt, og den kan skreddersys for å møte spesifikke krav og preferanser fra halvlederprodusenter, og sikrer kompatibilitet med forskjellige utstyrskonfigurasjoner og prosessparametere.