GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er integrert i halvlederproduksjon, og muliggjør stabil og pålitelig støtte under kritiske prosesser som avsetning, etsing og litografi. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck sikrer effektiv varmeavledning, og opprettholder jevn temperaturfordeling over waferen for å forhindre termiske gradienter som kan forårsake defekter. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er tilgjengelig i forskjellige størrelser og konfigurasjoner for å imøtekomme forskjellige waferdimensjoner og prosesseringskrav, og tilbyr fleksibilitet for ulike behov for halvlederfabrikasjon.

Søknader:

Epitaksial vekst: GaN-on-Si Epi Wafer Chuck gir en stabil plattform for vekst av høykvalitets GaN-lag på silisiumsubstrater, GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er avgjørende for høyytelses elektroniske og optoelektroniske enheter.

Etsing og avsetning: Forenkler ensartet materialefjerning eller avsetning, nøkkelen for å oppnå de ønskede strukturelle og elektriske egenskapene til enhetene.

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er et uunnværlig verktøy for halvlederprodusenter som tar sikte på å produsere banebrytende GaN-baserte enheter, og tilbyr uovertruffen ytelse i presisjon, stabilitet og holdbarhet.