Solide silisiumkarbidfinner

Semicorex solidsilisiumkarbidfinnerer vanligvis installert som termiske isolasjonskomponenter inne i vertikale ovnsrør i halvleder termisk behandlingsutstyr, som RTP-glødeovner og diffusjonsovner. Semicorex solide silisiumkarbidfinner kan effektivt regulere temperaturfordelingen i høytemperaturovner og minimere varmeskader på prosessdørforseglingsdeler forårsaket av høye temperaturer. Under våtoksidasjonsdriftsforhold kan Semicorex solide silisiumkarbidfinner brukes for å effektivt forhindre negative påvirkninger på prosessresultater og halvlederenheter forårsaket av vanndampkondensasjon ved relativt lave prosesstemperaturer.

Fordelene med Semicorex solide silisiumkarbidfinner

1. Utmerket slitestyrke

CVD SiC har en polykrystallinsk kubisk krystallstruktur, med eksepsjonell hardhet nest etter diamant. Den utmerkede slitestyrken til Semicorex solide silisiumkarbidfinner tilskrives denne egenskapen, noe som gjør dem til å tåle slitasje under håndtering og utskifting.

2. Overlegen termisk styringskapasitet

CVD SiC gir utmerket termisk motstand og høytemperaturstabilitet, som ikke smelter eller mykner ved temperaturer opp til omtrent 2000°C og opprettholder stabiliteten før sublimering med ultrahøy temperatur. Takket være disse overlegne termiske egenskapene er Semicorex solide silisiumkarbidfinner svært egnet for de utfordrende behandlingsforholdene for halvledervarmebehandling.

3. Ultra-høy renslighet

CVD-SiCproduseres uten sintringsadditiver under avsetningsprosessen. Sammenlignet med konvensjonelt reaksjonsbundet silisiumkarbid har det mye høyere renhet, og når over 99,9995%. Dette forhindrer effektivt forurensning av metalliske urenheter av Semicorex solide silisiumkarbidfinner forårsaket av høye temperaturer i prosessmiljøer, og oppfyller perfekt renslighetskravet til avansert halvlederproduksjon.

4. Pålitelig korrosjonsbestandighet

Semicorex solide silisiumkarbidfinner tåler sterkt oksiderende og sterkt sure prosessgasser som brukes i halvledervarmebehandlingsprosesser, på grunn av den eksepsjonelle kjemiske tregheten til CVD SiC ved høye temperaturer. Denne pålitelige korrosjonsmotstanden forlenger effektivt deres levetid, og reduserer kostnadene for utskifting av komponenter.

5. Nøyaktig maskineringsnøyaktighet

For å sikre kompatibilitet med forskjellige ovnsrør, kan Semicorex tilpasse solide silisiumkarbidfinner i henhold til kundens krav til diameter, tykkelse, hullstørrelse, flathet og dimensjonstoleranser. Denne maskinpresisjonen av høy standard garanterer stabil drift av finnene i utstyret og bidrar til å optimalisere den totale effektiviteten til halvledervarmebehandlingsapplikasjoner.